판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE TP 400 #293754103

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 400 Ion Implanter & Monitor는 반도체 산업을위한 최첨단 고해상도 이온 임플란터입니다. KLA TP 400은 정밀 회로 및 작동을 제공하며, 최소한의 전기 및 기계적 소음으로 고성능 장치 처리를 지원합니다. 조절 가능한 이온 빔 파라미터와 통합 전자 장치는 비교할 수없는 이온 용량과 정확성을 제공합니다. TENCOR TP 400 (TENCOR TP 400) 은 직관적인 운영자 인터페이스와 분석 작업을 위한 통합 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 갖춘 완벽한 맞춤형 콘솔을 포함하여 모바일 이온 임플란테이션 프로세스를 모니터링하고 제어하는 포괄적인 기술을 갖추고 있습니다. 5 축 빔 스캐너 (Beam Scanner) 는 최대 유연성과 정확한 패턴을 제공하며, 빔 크기와 방향을 정확하게 제어할 수 있는 초고해상도 제어 시스템을 갖추고 있습니다. THERMA-WAVE TP 400의 빔은 고급 신호 처리 시스템 (advanced signal processing system) 에 의해 뒷받침됩니다. 이 시스템은 빔 불안정성을 감지하고 그에 따라 매개 변수를 자동으로 조정하는 데 사용됩니다. TP 400은 입사 (incident) 및 백스캐터 (backscatter) 전자 검출기가 있는 고급 멀티 채널 전류 모니터를 포함하여 다양한 고급 기능을 제공합니다. 모니터링 시스템은 KLA/TENCOR/THERMA-WAVE TP 400의 데이터 획득, 분석 및 시각화 기능과 결합하여 효율적인 프로세스 최적화 및 절대 실시간 분석을 용이하게 합니다. KLA TP 400의 통합 열 전자 소스는 최대 20 keV의 고성능 전자 빔 에너지를 제공하여 더 두꺼운 재료 층을 통한 제어 임플란테이션을 보장합니다. 통합 소스에는 향상된 자기 제한 장치 (magnetic limiter) 와 억제 (suppressor) 구성이 장착되어 있어 최대 처리량을 위해 빔 밝기가 증가합니다. 전반적으로 TENCOR TP 400 Ion Implanter & Monitor는 반도체 장치 처리를 위해 고급적이고 혁신적인 도구입니다. 고급 신호 처리, 데이터 획득, 시각화 (visualization) 기술을 활용하여 정확하고 정확한 임플란테이션을 제공합니다. 신뢰성 있는 용량 설정에서 품질 모니터링 및 프로세스 최적화에 이르기까지, THERMA-WAVE TP 400 은 효율적이고 안정적인 장치 처리를 위한 귀중한 도구입니다.