판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 630 #9399013

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Therma-Probe 630은 웨이퍼 기판 및 코팅을 검사하는 데 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 제조업체가 고객 사양 준수를 보장합니다. 이 고급 시스템은 여러 온도 감지 서모커플을 사용하여 섭씨 몇 도 이내의 온도를 측정하고 제어하며, 정확도는 ± 0.2 ° C입니다. KLA Therma-Probe 630은 최첨단 전자 제품, 서보 제어 및 데이터 획득 기술을 통해 다중 기판에 대한 정확하고 반복 가능한 테스트를 용이하게합니다. 이 혁신적인 유닛은 웨이퍼 기판에서 표면 (surface) 과 하부 (subsurface) 결함을 모두 감지하여 결함 분석을위한 강력한 도구입니다. TENCOR THERMAPROBE 630은 또한 기판 손상과 관련된 광학 특성의 변화를 평가하여 약한 특성을 감지하고 표면 변화를 드러냅니다. 사용자 친화적 인 THERMA-WAVE THERMAPROBE 630 (THERMA-WAVE THERMAPROBE 630) 에는 인체 공학적으로 설계된 사용자 인터페이스가 장착되어 있어 운영자가 프로덕션 프로세스의 어느 시점에서 웨이퍼 테스트 및 도량법을 수행 할 수 있습니다. 직관적인 인터페이스는 직관적인 작동과 빠른 설치 (rapid setup) 를 위해 설계되었으며, 시스템 기능과 결과를 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한 THERMA-WAVE Therma-Probe 630은 광범위한 테스트 모드를 지원하므로 다양한 테스트 매개변수를 쉽게 수용 할 수 있습니다. 여기에는 광학 밀도, 온도, 두께의 정밀 측정, 표면 거칠기 및 균일성 테스트가 포함됩니다. THERMAPROBE 630 을 사용하면 고객의 특정 요구 사항에 따라 테스트 매개 변수를 설정할 수 있습니다. Therma-Probe 630의 혁신적인 기능으로는 고해상도 웨이퍼 이미징 기술, 최첨단 레이저 간섭계, 정밀 열 가열, 데이터의 정적 또는 동적 분석 등이 있습니다. 이렇게 하면 사용자가 반복 가능하고 신뢰할 수 있는 결과를 얻을 수 있으므로 기판 및 코팅에 대한 최적의 품질 관리 (Quality Control) 테스트가 가능합니다. 구체적인 사용 가능성 고려에서 장기 성능에 이르기까지 KLA/TENCOR/THERMA-WAVE THERMAPROBE 630은 탁월한 정확성, 신뢰성 및 반복 성을 제공합니다.