판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Therma-Probe 300 #293642292

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Therma-Probe 300은 전자 및 광자 산업에 사용하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 나노 로직 해상도와 실시간 데이터 수집을 통해 높은 정확도를 측정합니다. 이를 통해 고급 석판화, 연구 개발, 반도체 제작 등과 같은 응용 분야에 이상적인 솔루션이 됩니다. 이 시스템은 직경이 최대 300mm, 두께가 1nm까지 측정되는 웨이퍼를 테스트할 수 있습니다. 정밀 탐색 및 안정화 기능을 갖춘 고급 자동 단계 (Advanced Automated Stage) 를 통해 신속하게 샘플을 로드하고 포지셔닝할 수 있습니다. 5 축 로봇 암은 웨이퍼 (wafer) 를 선택하고 배치하거나 무거운 부품을 처리하도록 구성 될 수 있으며, 자동 테스트 시퀀스를 빠르고 정확하게 완료 할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 완벽한 추적 능력 및 프로세스 제어를 통해 높은 양의 데이터를 자동으로 측정할 수 있습니다. KLA Therma-Probe 300에는 50mm 오브젝티브 렌즈가 장착 된 최적화 된 광학 머신이 장착되어 있어 뛰어난 이미지 해상도와 명암비를 제공합니다. 고해상도 CCD 카메라는 4-6mm 시각적 필드와 최대 1nm 해상도를 제공합니다. 이 도구는 프랙토그래피 및 마이크로 메트로 로지도 지원하며, 5.0 -m 스팟 크기와 5nm 정확도도 있습니다. 에셋은 또한 열 이미징 (thermal imaging) 또는 열 그래피 (thermography) 와 광다이오드 이미징 (photodiode imaging) 의 조합을 사용하여 비접촉 모드에서 작동 할 수 있습니다. 이는 열 해상도가 1mK까지 내려가는 고속 측정을 제공합니다. 또한이 모델에는 PCD 및 CD-SEM, 광학 CD, LER (Line Edge roughness) 측정, CD 및 CD-SEM 오버레이 측정 및 백투백 CD와 같은 자동 도량형 기능이 있습니다. 전반적으로 TENCOR Therma-Probe 300은 다양한 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 탁월한 정확성과 정확성, 빠른 데이터 수집, 종합적인 도량형 (metrology) 기능을 제공하여 연구 개발, 고급 석판화, 반도체 제작에 이상적입니다.