판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660 #293591665

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660은 다양한 반도체 산업 응용 프로그램에서 품질 제어를 위해 설계된 최고의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 레이저 벡터 (laser vector) 와 회절 패턴 분석 (diffraction pattern analysis) 에서 방사선 분석 (radiometry analysis) 에 이르기까지 다양한 웨이퍼 도량형 도구를 제공하여 매개변수 값을 일관되고 반복 가능한 결과와 정확하게 측정하고 비교합니다. KLA Spectra-Shape 8660은 다양한 측정 기능을 제공합니다. 레이저 벡터 스캐닝 및 회절 패턴 분석을 사용하여 웨이퍼 샘플에서 표면 지형 정보를 얻고 표면 거칠기, 곡물 경계, 릴리프 피쳐, 플랫 (flatness) 등과 같은 서피스 피쳐의 변화를 평가하는 매우 정확한 정량 분석을 제공합니다. 또한 TENCOR Spectra-Shape 8660 (TENCOR Spectra-Shape 8660) 은 특정 표면의 절대 광학 반사 수준을 결정할 수있는 광범위한 방사선 기능을 제공합니다. Spectra-Shape 8660의 성능은 특별합니다. x 방향과 y 방향의 초정밀 움직임, 최대 30 nm의 파장 범위, 광학 렌즈 시스템, 특수 설계 된 이미징 챔버 (imaging chamber) 를 제공하는 모션 단계를 사용하여 판독 값을 정확하게 유지합니다. 또한, 광학은 열 대비를 줄이기 위해 설계되었으며, 스캐닝 단계 (scanning stage) 는 완벽하게 평평하지 않은 샘플을 사용해도 부드러운 동작을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 종합적인 진단, 경보 기능, 자동 스캔 매개변수 (automatic scan parameters) 를 갖춘 여러 가지 사용자 친화적 인터페이스를 제공하여 일상적인 측정 중에 사용 편의성과 간단한 설정을 지원합니다. 또한 THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660에는 다양한 통계 분석 옵션, 자동 교정 루틴 및 측정 절차, 추세 분석 기능, 통합 이미지 대비 및 필터링 도구, 사용하기 쉬운 GUI 등이 있습니다. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra-Shape 8660은 라인 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템의 상단으로, 정확도가 높은 다양한 기능을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 예술디자인 (Art Design) 과 정교한 소프트웨어 (Software) 의 상태는 빠르고 안정적인 측정과 일관되고 반복 가능한 결과로 매개변수 값을 빠르게 비교할 수있는 기능을 제공합니다. 이 도구는 반도체 품질 관리 및 생산에 매우 유용한 도구입니다.