판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #9309105

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200
ID: 9309105
웨이퍼 크기: 12"
Film thickness measurement system, 12".
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200은 반도체 장치 성능을 정확하고 안정적으로 테스트하고 측정하는 포괄적인 분석을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 "시스템 '에는 전기 성능 을 이해 하는 데 사용 할 수 있는" 웨이퍼' 의 신체적 특성 을 이해 하기 위한 여러 가지 첨단 기술 이 들어 있다. KLA Spectra FX 200에는 전체 웨이퍼를 빠르고 정확하게 스캔 할 수있는 프로그래밍 가능한 스테이지 모션 유닛이 포함되어 있으며, 정확한 제어를 위해 2 개의 모터와 위치 감지를 위해 고해상도 인코더가 장착되어 있습니다. 또한, 기계에는 정확한 웨이퍼 검사를 위해 고해상도 이미징, 화학 분석 및 결함 특성 기능이 포함됩니다. TENCOR Spectra FX 200의 고급 광학 (Advanced optics) 을 사용하면 웨이퍼 표면의 지형 맵을 만들 수 있는 기능과 더불어 소형 2 유로의 이미지 캡처가 가능합니다. 이 도구는 온도학을 기반으로 한 고출력 레이저 도량형 (high-powered laser metrology) 을 사용하여 웨이퍼의 나노 스케일 기능을 빠르고 정확하게 측정합니다. 이 고급 기술을 사용하여 사용자는 레이어 두께, 종횡비 등을 측정할 수 있습니다. 또한, 자산의 화학적 능력은 타의 추종을 불허하는 정확도로 레이어 높이, 컴포지션 및 결함 분석의 계량법을 제공합니다. Spectra FX 200은 탁월한 정확성과 신뢰성을 갖춘 분석 도구를 제공합니다. 이 분석 툴을 사용하면 반도체 디바이스의 전기적/물리적 성능을 파악하는 데 필요한 데이터를 수집할 수 있고, 결과를 높은 신뢰도로 해석할 수 있습니다 (영문). 또한, 확장된 접속성, 편리한 입/출력 기능을 통해 데이터 전송을 다른 시스템, 데이터베이스, 회사로 손쉽게 수행할 수 있습니다. THERMA-WAVE Spectra FX 200은 안전, 보안 및 비용 효율성을 고려하여 설계되었습니다. 이 고급 (Advanced) 모델에는 다양한 보호 메커니즘이 장착되어 있어 외부 영향으로부터 안전한 운영 및 보호를 보장합니다. 또한 유지 보수가 불가능한 입구 공기 정화, 신뢰할 수있는 공기 조작, 자동 내부/외부 온도 제어 등 다양한 기능을 통해 에너지 효율성을 극대화하면서 비용을 최소화할 수 있습니다. 이 클라이 (KLA) 의 첨단 기술은 반도체 장치를 테스트하고 측정하는 효율적이고 안정적인 방법을 제공합니다. 정확한 모션 제어 및 고해상도 이미징에서 열 그래피 및 화학적 기능에 이르기까지 KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200은 탁월한 정확성과 안정성을 갖춘 종합적인 분석을 제공합니다.
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