판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Spectra FX 200 #293652610

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200은 정확한 고속 웨이퍼 스캔과 전용 도량형 도구를 결합한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 광학 시스템에서 고급 CCD 센서를 사용하여 정확한 웨이퍼 스캔을 보장하며 200mm (8 인치) 및 300mm (12 인치) 웨이퍼의 테스트 및 도량형으로 설계되었습니다. KLA Spectra FX 200은 광범위한 웨이퍼 두께, 재료 및 패턴에서 2 차원 및 3 차원 도량형을 수행 할 수 있습니다. 여기에는 임계 치수 (CD) 측정, 에치 깊이 측정 및 오버레이 측정이 포함됩니다. 그것 은 "웨이퍼 '에 여러 층 의 특징 을 탐지 하는 능력 을 가지고 있으며, 또한 입자 크기 와 화학 오염 물질 을 측정 할 수 있다. TENCOR 스펙트럼 FX 200 (TENCOR Spectra FX 200) 은 고해상도 측정을 위해 특허를받은 저압 생성 장치를 사용하여 매우 정확하고 해상도로 웨이퍼 속성의 작은 변화를 추적 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 스캔 프로세스에 대한 실시간 피드백 제어를 허용합니다. 빠르고 정확한 웨이퍼 포지셔닝을 위해 고급 컴퓨터 제어 스테이지가 특징입니다. THERMA-WAVE Spectra FX 200은 자동 기판 로더, 샘플 전송 로봇, 더 높은 스캔 속도를 위한 액체 냉각, 인라인 매핑 스테이션, 통합 가스 제어 등 다양한 옵션 구성 요소를 제공합니다. 초점 이온 빔, 주사 전자 현미경 등 여러 가지 현미경과 통합 될 수 있습니다. 또한 Spectra FX 200 도구에는 강력한 PC 기반 소프트웨어 패키지가 장착되어 있어 설치 및 작업이 간편합니다. 전반적으로 KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Spectra FX 200은 강력하고 다용도 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 다양한 계층의 기능 검색 (feature detection) 및 다양한 옵션 구성 요소를 제공하면서 정확하고 빠른 속도로 스캐닝할 수 있습니다. 이 모델은 다른 현미경과 쉽게 통합할 수 있으며, 설치와 작동을 단순화하는 강력한 PC 기반 소프트웨어 (PC 기반) 패키지를 갖추고 있습니다.