판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 5300P #293632855

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ID: 293632855
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 5300P는 다양한 정밀 전자 응용 프로그램에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 전자기기 구조와 매개변수를 정확하고 신뢰성 있게 측정할 수 있는 '최첨단' 자동화된 '전산화된 시스템입니다. KLA Optiprobe 5300P는 다양한 어플리케이션에 대해 고유한 정밀도, 안정성, 정확성을 조합하여 제공합니다. 반도체 장치의 레이아웃, 접촉, 비아 (vias) 및 기타 차원에 대한 정보를 수집하는 데 이상적입니다. 뿐만 아니라, 이 장치는 강력하고 유연한 플랫폼을 통해 균일성, 레이어 두께, 마스크 패턴 모양, 선 너비 등 다양한 기능을 측정할 수 있습니다. 이 기계는 자동 측정 배열을 수행하기 위해 2 개의 고급 광학 시스템을 갖추고 있습니다. 여기에는 주사 전자 현미경 (SEM), 레이저 간섭법, 레이저 회절 및 레이저 유도 열 영상 (LITI) 이 포함됩니다. 또한, 이 도구는 초정밀 해상도에서 자동 측정을 수행 할 수있는 LOSIS (Line-of-Sight Imaging Asset) 옵션을 제공합니다. 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 얻기 위해 TENCOR Optiprobe 5300P에는 일련의 데이터 획득 구성 요소가 포함되어 있습니다. 컨트롤러 장치는 별도의 DSP (Digital Signal Processor) 와 연결된 고급 GPU (Graphics Processing Unit) 로 구성됩니다. GPU 및 DSP는 모두 엄격한 측정 공차를 충족하는 데 필요한 복잡한 알고리즘을 효율적으로 계산하도록 최적화되었습니다. 이를 통해 빠르고 안정적인 이미지 및 데이터 처리를 보장할 수 있습니다. 또한 Optiprobe 5300P에는 가장 정확한 측정값을 제공하도록 설계된 다양한 프로브 (Probing) 기술이 포함되어 있습니다. 이러한 기술에는 열 이미징, 접촉 모드, 스캔 이온 현미경 (SIM) 및 와전류 측정이 포함됩니다. THERMA-WAVE Optiprobe 5300P는 설치 및 작동이 간편한 직관적인 사용자 인터페이스도 갖추고 있습니다. 즉, 높은 용량, 저전압 (capacitance-to-voltage) 비율과 같은 장치 매개변수의 정확하고 안정적인 보정 및 일상적인 측정이 가능합니다. 즉, 특정 애플리케이션 요구 사항에 따라 데이터를 신속하게 조정하고 수집할 수 있는 편리함과 유연성을 제공합니다. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 5300P는 다양한 어플리케이션에 대해 정확하고 안정적인 결과를 제공합니다. 디바이스 매개변수 및 레이아웃을 정확하고 반복적으로 측정할 수 있는 탁월한 성능을 제공합니다 (영문). 이 모델은 정확하고 정확한 측정 기능이 필요한 모든 비즈니스에 적합합니다.
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