판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 #9124948

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290은 반도체 장치의 품질과 균일성을 정확하게 평가하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 매우 정밀도, 속도, 정확도를 갖춘 다양한 장치 매개변수를 포괄적으로 측정합니다. KLA OPTIPROBE 3290은 3290 광학 현미경 모듈과 3200 자동 웨이퍼 처리 장치로 구성됩니다. 3290 현미경은 향상된 옵틱, 향상된 해상도 (Enhanced Resolution) 및 넓은 시야로 강력한 진단 정보를 제공합니다. 3200 자동 웨이퍼 처리 장치 (Automated Wafer Handling Machine) 는 업계 최고의 처리량과 정확도를 제공하여 샘플 처리량을 높입니다. 3290 Optiprobe는 장치 Critical Feature Size, Sidewall Angle, Corner Rounding, Shape, Line Width Roughness 등을 측정할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 도구는 장치 기능의 가장 작은 차이를 포착할 수 있는 탁월한 해상도를 제공합니다. 또한 나노 구조를 정확하게 측정할 수있는 향상된 감도를 제공합니다. 또한, 3290은 비접촉 (non-contact) 및 접촉 (contact) 도량형에 최적화되어 가장 어려운 형상조차도 정확하게 측정하고 프로파일하는 기능을 제공합니다. 또한 TENCOR OPTIPROBE 3290은 확장된 현장 심도 및 3D 스티치 이미징 등 업계에서 가장 향상된 이미징 기능을 제공합니다. 이 자산에는 독자적인 KLA 이미지 획득 및 처리 알고리즘이 포함되어 있어 가장 까다로운 이미징 어플리케이션에 대한 정확성과 해상도를 향상시킵니다 (영문). OPTIPROBE 3290은 자동화된 결함 검토를 제공하여 결함을 신속하게 수정하여 품질을 향상시킵니다. 3290 은 대화식 검토 인터페이스 (Interactive Review Interface) 와 사용자 지정 가능한 보고 옵션을 제공하여 Wafer 의 다른 위치에서 결과를 비교할 수 있습니다. 3290 현미경과 3200 자동 웨이퍼 처리 모델을 결합하여, 중량 반도체 생산 및 장치 특성화 작업은 처리량, 정확도, 웨이퍼 품질 향상 등의 이점을 얻을 수 있습니다. THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290은 사용자에게 반도체 제조에 필요한 정확성, 해상도, 유연성을 제공합니다.