판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2690 #9395501

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2690은 최신 반도체 제조 시설에 사용하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA Optiprobe 2690에는 다양한 박막 구조 및 프로세스 (Thin-film structure and process) 기능을 정확하고 효율적으로 검토하고 분석할 수 있는 포괄적인 솔루션을 제공하는 다양한 측정/분석 기능이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 열전 (TE) 및 사진 광학 (PO) 도량형 기술을 사용하여 반도체 장치의 지형, 구성, 필름 두께 및 기타 중요한 특성에 대한 정확한 데이터를 얻습니다. TENCOR Optiprobe 2690에는 통합 TE 프로브 (TE Probe) 가 장착되어 있어 자동 웨이퍼 매핑 및 이미징이 가능하며, 다양한 구조의 고해상도 광도 그래피가 가능합니다. 이 고정밀 매핑 및 이미징은 열전기 측정 장치 (thermoelectric measurement unit), 광학 프로파일러 (optical profiler) 및 모든 자동화된 소프트웨어 응용 프로그램 패키지의 통합으로 더욱 향상되었습니다. Optiprobe 2690은 다양한 중요한 박막 (Thin-film) 프로세스에 대한 정보를 제공하는 다양한 분석 툴과 통합되어 있습니다. 이러한 프로세스에는 필름 두께, 지형, 에치 속도, 관통 깊이 및 도펀트 분포가 포함됩니다. 또한, 이 기계는 정확한 생산 결과를 지원하기 위해 맞춤형 강력한 진단 및 특성 기법을 제공합니다. 또한 THERMA-WAVE Optiprobe 2690은 수동 및 자동 모터 제어, XYZ 자동 레벨링 및 Wafer ID 자동 로드를 포함한 다양한 고급 제어 기능을 포함하도록 지정되었습니다. 이 도구에는 CAS (Component Analysis Asset) 도 포함되어 있습니다. CAS (Component Analysis Asset) 는 적절한 Probe 및 테스트 신호를 활용하여 전류 및 전압 누출과 같은 중요한 기능 매개변수를 쉽게 확인할 수 있습니다. 이 모델에는 다양한 샘플 조작 및 온도 관리 기능이 추가로 장착되어 있습니다. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2690은 효율성과 다재다능성을 위해 설계되었으며, 반도체 제조 산업의 끊임없이 발전하는 과제에 대한 경제적 솔루션을 제공합니다. 자동화되고 통합된 KLA Optiprobe 2690은 신뢰할 수 있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 정확하고 최적의 결과를 제공합니다.