판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9399074

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B
ID: 9399074
웨이퍼 크기: 8"
Film thickness measurement system, 8".
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B는 반도체 웨이퍼 및 장치를 위한 인라인 도량형용으로 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. non-contact spectrophotometric 3D 분석과 인라인 도량형을 결합하여 업계 최고의 측정 정확도, 높은 처리량, 신뢰성을 제공하는 통합 시스템입니다. KLA OPTIPROBE 2600B는 KLA 독점 마이크로 분광학 기술을 기반으로 구축되어 다양한 각도, 깊이, 시야각 등을 측정할 수 있습니다. 따라서 Wafer 탐색 및 이미지 조작 기능이 향상되고, 결과의 정확성과 반복성이 가장 높아집니다 (영문). TENCOR OPTIPROBE 2600B의 혁신적인 3D 매핑 기능은 웨이퍼 프로파일을 나노미터 수준의 정확도로 매핑하여 3D 모양, 밀도 및 에칭 결과를 정확하게 정량화하는 3 차원 정보를 제공합니다. 단위는 다각도 (multi-angle) 측정도 지원하는데, 이는 장치 및 구조의 볼륨 성능을 결정하는 데 유용합니다. THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B는 반사율 분광법, 디지털 간섭법, 스캔 및 비선형 분광법, 형광 분광법과 같은 다양한 도량형 기술도 지원합니다. 또한 자동 결함 감지 및 분류, 사용자 정의 웨이퍼 인식, 다중 파장 도량형, x- 선 방사선 분석 등 고급 결함 감지 및 분류 기능을 제공합니다. OPTIPROBE 2600B의 또 다른 주요 기능은 정교한 운영 소프트웨어 (데이터 분석 기능, 프로그래밍 가능한 워크플로우, 보안 네트워킹 옵션 포함) 입니다. 이 시스템은 또한 광범위한 보고 (Reporting) 및 데이터 내보내기 (Data Export) 옵션을 제공하므로 사용자는 결과를 신속하고 효율적으로 액세스할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B는 업계 최고의 정확성, 속도 및 신뢰성을 제공하는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 툴로, 반도체 산업에 유용한 도구입니다. 나노미터 수준의 정확도로 웨이퍼 프로필을 매핑하는 기능, 신뢰성 있는 결함 감지 및 분류 기능, 그리고 KLA OPTIPROBE 2600B 를 빠르고, 정확하고, 신뢰할 수있는 웨이퍼 테스트 및 도량형에 이상적인 솔루션으로 만듭니다.
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