판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9220005
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KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 프로세스 개발, 모니터 및 제어, 장애 감지, 결함 식별, 데이터 수집, 웨이퍼 수준 예측, 수율 개선 등의 광범위한 웨이퍼 테스트 및 도량형 응용 프로그램을위한 고급 기능을 제공합니다. 이 시스템은 실리콘, 저마늄, 갈륨 비소, 인화 인듐 등을 포함한 다양한 기질로 작업 할 수있는 매우 유연하고, 확장 가능하며, 구성 가능한 디자인을 갖추고 있습니다. 또한 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼를 10äm의 정확도로 지원합니다. KLA OPTIPROBE 2600B는 테스트 및 도량형 작업을 더 쉽고, 빠르고, 덜 비싸도록 설계된 소형의 대량 시장 폼 팩터로 구성됩니다. 장치 구성 요소에는 Intended-Debug 하위 시스템, 테스트 패턴 자동화, 종합적인 테스트 도구 등이 포함됩니다. Intended-Debug 하위 시스템은 회로 결함 로컬라이제이션, 회로 매개변수 최적화, 결함 분석 등의 기능을 통해 개별 웨이퍼에 대한 세부 분석을 제공합니다. 테스트 패턴 자동화 (Test pattern automation) 는 도량형 및 교정 테스트에 사용되는 테스트 패턴의 최적화를 단순화하여 최상의 결과를 얻습니다. 또한 TENCOR OPTIPROBE 2600B에는 XY 스테이지 이동, 프로브 스캔, 디지털 휴먼 머신 인터페이스 (HMI), 퍼지 로직 프로세서 및 기타 여러 가지 테스트 도구가 포함되어 있습니다. OPTIPROBE 2600B (OPTIPROBE 2600B) 는 Wafer 및 테스트 프로브를 교환하는 동안 소요되는 시간을 제거하기 위해 최대 3 개의 동시 비중복 스캔을 제공하는 고급 스캔 세트 획득 머신을 갖추고 있습니다. 또한 정밀도가 +/- 1 미크론에 도달하면 최대 12 개의 동시 위치 축을 제공하고 xy, z 및 theta 축 테스트 단계에 대한 온보드 비선형 보정을 제공합니다. 모든 측정 결과는 Matlab 데이터 레코더 (Matlab data recorder) 를 사용하여 캡처되므로 데이터를 스프레드시트 (spreadsheet) 또는 기타 분석 프로그램으로 쉽게 전송할 수 있습니다. 또한 THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B 는 내장형 데이터베이스와 함께 제공되므로, 보다 오랜 기간 동안 쉽게 결과를 관리, 아카이빙, 비교할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구는 강력하고, 다양하며, 신뢰할 수있는 도구로 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 광범위한 기능과 기능을 통해 대형 웨이퍼의 개발, 제어, 분석을 간소화할 수 있습니다. 또한 정확한 측정을 위해 최대 12 개의 동시 위치 지정 축을 제공하고, 매끄럽고 정확한 결과를 얻을 수 있는 통합된 비선형 보상 (nonlinear compensation) 자산을 제공합니다. 내장형 Matlab 데이터 레코더 (Data Recorder) 와 온보드 데이터베이스 (Onboard Database) 를 사용하면 장기간에 걸쳐 데이터를 손쉽게 관리, 아카이빙 및 비교할 수 있습니다. KLA OPTIPROBE 2600B (OPTIPROBE 2600B) 가 제공하는 높은 정확성과 유연성을 통해 사용자는 제조 된 모든 웨이퍼에서 안정적인 테스트 및 도량형 결과를 보장 할 수 있습니다.
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