판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9220004

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B
ID: 9220004
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
Film thickness measurement system, 8" 1999 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B는 다양한 웨이퍼 레벨 다이 레벨 제품에 대한 고급 장애 분석 및 프로세스 모니터링을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고속, 고해상도 이미징 레이저로 수천 개의 개별 다이를 빠르게 스캔하여 프로세스 이상 (process anomalies) 을 감지할 수 있습니다. KLA OPTIPROBE 2600B는 다양한 시야각, 자동 다이 레벨 전기 테스트, 자동 정규화, 여러 관심 영역 등 다양한 기능을 제공합니다. 텐코 (TENCOR) OPTIPROBE 2600B의 스캐닝 레이저 (scanning laser) 는 데이터 충실도와 정확도를 극대화하도록 설계되어 웨이퍼 레벨 다이 (die-level die) 에서 결함과 이상을 감지하는 매우 정확한 도구입니다. 이 장치는 고속, 최대 6000 다이/아워 (die/hour) 로 스캔할 수 있으며, 프로세스 손실을 감지하고 수정 조치에 대한 권장 사항을 제시할 수 있습니다. 여러 뷰 각도 (multiple viewing angles) 를 통해 기계는 다양한 방향과 커브 모양을 볼 수 있으므로 안정적이고 일관성 있는 테스트를 수행할 수 있습니다. 자동화된 다이 레벨 (die-level) 테스트를 통해 수동 테스트와 관련된 시간과 비용을 줄일 수 있습니다. 또한, 자동화된 정규화 (automated normalization) 기능은 서로 다른 제조 프로세스의 다른 형태 다이를 빠르고 정확하게 비교하는 데 도움이됩니다. 이 도구는 이미징 레이저를 능동적으로 정렬하여 데이터 충실도를 극대화합니다. 이 자산은 지능형 검사 모델과 종합적인 웨이퍼 레이아웃 (Wafer Layout) 프로그래밍 및 실시간 데이터 분석을 지원하는 사용자 친화적 인 GUI를 제공합니다. OPTIPROBE 2600B는 최대 16 개의 채널에서 데이터를 수집할 수 있으며, 이를 통해 다이 레벨 동작에 대한 보다 상세한 분석을 수행할 수 있습니다. 또한 여러 수준에서 검색할 수 있도록 장비를 쉽게 재구성하여 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 테스트를 유연하게 수행할 수 있습니다. THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B는 백엔드 프로세스 개발, 안정성 테스트, 장애 분석, 항복 모니터링 및 프로세스 제어 시 사용하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 광범위한 다이 결함을 감지하여 결함 다이 (die), 중복 칩, 프로세스 이상 등을 감지 할 수 있습니다. 이 고급 웨이퍼 테스트 (Advanced Wafer Testing) 및 도량형 장치 (Metrology Unit) 는 고속, 정확한 결과를 제공하도록 설계되어 웨이퍼 레벨 다이 모니터링 및 프로세스 개발에 이상적인 도구입니다.
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