판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9220003

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B
ID: 9220003
웨이퍼 크기: 8"
Film thickness measurement system, 8".
KLA OptiProbe ™ 2600B 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 고급 웨이퍼 특성 및 제작 검증을 위한 최첨단 시스템입니다. 표면 지형, 오버레이 및 품질 지표를 측정하기 위해 설계된 OptiProbe (tm) 2600B는 강력한 옵틱, 모션 컨트롤, 열 기술을 결합하여 효율적인 제조 공정을 위한 종합적인 플랫폼을 만듭니다. OptiProbe ™ 2600B는 상황에 맞는 이미징 기능을 갖춘 2D 광학 프로파일 도량형을 제공합니다. 직관적인 GUI (Graphical User-Interface) 와 터치스크린 (Touch-Screen) 인터페이스를 활용하여 다양한 작업을 신속하게 설정하고 Metrology 결과를 볼 수 있습니다. OptiProbe ™ 2600B는 고급 On-Axis Optic을 사용하여 측정값을 실시간으로 신속하게 캡처하여 더 빠른 웨이퍼 테스트가 가능합니다. 또한 특허를받은 TENCOR 열 도량형 감지 기술을 통합하여 평면, 서피스 거칠기, 접촉 각도 등의 지형 지표를 정확하게 특성화할 수 있습니다. 특히 OptiProbe ™ 2600B는 THERMA-WAVE의 유명한 Unified Overlay (통합 오버레이) 기능을 통합하여 열 드리프트의 효과를 완화하면서 종합적인 오버레이 정확성과 반복 가능성을 측정합니다. 이 기계는 또한 고급 결함 검사 및 다이 투 다이 CD 도량형을 포함한 최첨단 도량형 플랫폼 및 프로세스를 지원합니다. 첨단 기능을 갖춘 OptiProbe ™ 2600B (TM) 를 통해 제조업체는 다운타임 또는 추가 비용 없이 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 제작 프로세스의 효율성을 설계 및 모니터링할 수 있습니다. 요약하자면, KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OptiProbe ™ 2600B Wafer Testing and Metrology Tool은 광, 동작 제어, 열 기술을 결합하여 효율적인 및 비용 효율적인 제작을 위한 고급 플랫폼입니다. 직관적인 GUI 및 터치스크린 인터페이스에서 강력한 Unified Overlay (TM) 기능에 이르기까지, OptiProbe (TM) 2600B는 웨이퍼 테스트 및 제작 프로세스를 최대화하려는 제조업체에 이상적인 솔루션입니다.
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