판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #293794214

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B
ID: 293794214
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B는 고급 프로세스 모니터링 및 분석 애플리케이션을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 빠른 주사 전자 현미경, 광학 현미경, 전기 테스트, 다크 필드/브라이트 필드 이미징, 포토 esist 도량형, 웨이퍼 에지 검출 등 웨이퍼 표면 및 구조에서 광범위한 도량형 데이터를 수집 할 수 있습니다. KLA OPTIPROBE 2600B 장치는 고급 프로세스 제어, 결함 감지, 신뢰성 분석과 관련하여 탁월한 성능을 제공합니다. 이 기계는 적응 광학 (Adaptive Optics) 도구를 포함한 몇 가지 혁신적인 기술을 갖추고 있으며, 이 도구는 광학 매개변수를 샘플에 맞게 조정하여 해상도를 최대화, 명확하지 않은 입자 판별, 빠른 높은 처리량을 제공합니다. 또한 고급 자동 이미지 분석 (automated image analysis) 기술을 활용하여 결함, 입자 및 토폴로지 변화를 신속하고 정확하게 확인할 수 있습니다. 또한 TENCOR OPTIPROBE 2600B 는 직관적인 사용자 인터페이스를 갖추고 있어 에셋을 간편하게 탐색하고 편리하게 탐색할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 통일성, 정확성, 반복 가능성, 정밀도에 대한 업계 표준을 포함하여 가장 진보 된 도량형 컨트롤을 준수합니다. 또한 HLA (High Level Automation) 를 통해 장비를 반 또는 [완전 자동화] 할 수 있으므로 사용자가 미리 정의된 측정 흐름을 반복 할 수 있습니다. 이를 통해 유닛은 일관성 있고 반복 가능한 데이터를 신속하고 적은 사용자 참여로 달성할 수 있습니다. THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B는 또한 다양한 액세서리를 제공하여 성능을 향상시키고 프로세스를 간소화합니다. 여기에는 다양한 웨이퍼 처리 컴포넌트 (wafer handling component) 와 기계 수명을 연장하는 자동 클리닝 사이클링/오일링 (cleaning-cycling/oiling) 컴포넌트가 포함되어 있으며 오염을 최소화하면서 정확한 데이터 결과를 제공합니다. OPTIPROBE 2600B (OPTIPROBE 2600B) 는 고급 자동화 기능과 결합된 정밀 측정 결과가 필요한 반도체 제조업체, 연구소 및 연구 기관을 위한 이상적인 솔루션입니다.
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