판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #9364392

ID: 9364392
빈티지: 1994
Film thickness measurement system 1994 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600은 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 사용 가능한 가장 고급 웨이퍼 분석 및 측정 기능을 제공합니다. KLA Optiprobe 2600은 특허 레이저 기술을 사용하여 직경 100mm ~ 300mm 범위의 반도체 웨이퍼를 정확하고 비접속 측정 및 분석할 수 있습니다. 사용 가능한 다양한 테스트와 측정으로, 사용자는 기능 (feature), 트랜지스터 (transistor) 및 집적 회로 (integrated circuit) 수준에서 각 웨이퍼를 검사할 수 있습니다. 온보드 레이저 기술을 통해 TENCOR Optiprobe 2600은 웨이퍼 결함, 입자 오염 물질, 저항성, 표면 거칠기, 전기 특성 등 다양한 표면 기능을 감지 할 수 있습니다. 이러한 내부 분석 (in-situ analysis) 을 통해 웨이퍼 제작에 중요한 프로세스 매개변수를 빠르고 정확하게 식별할 수 있습니다. 또한, 사용자는 프로세스 개발 또는 문제 해결 중에 게이트 산화물, 접촉 금속화, 포토리스 (photoresist) 레이어 및 기타 재료의 두께를 결정할 수 있습니다. Optiprobe 2600 (Optiprobe 2600) 에는 다양한 패턴으로 레이저를 웨이퍼로 옮길 수 있는 소프트웨어 제어 스캐닝 헤드 (scanning head) 가 장착되어 있어 사용자가 웨이퍼 표면의 복잡한 경로를 정확하게 따르고 세부 피쳐 레벨 매개변수를 측정할 수 있습니다. 또한 고해상도 카메라 머신을 사용하여 웨이퍼 표면을 정확하게 시각적으로 검사 할 수 있습니다. 이러한 측정 및 이미징 기능의 조합으로 THERMA-WAVE Optiprobe 2600은 프로세스 개발, 항복 최적화 및 웨이퍼 특성화에 유용한 도구입니다. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600은 소형, 사용이 간편한 플랫폼에서 최고 수준의 웨이퍼 테스트 및 도량형 기능을 제공합니다. 이 제품은 정확성과 신뢰성에 대한 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었으며, 품질 보증 (Quality Assurance), 프로세스 모니터링 (Process Monitoring), 비용 절감 이니셔티브에 이상적인 솔루션입니다. 다양한 기능과 기능을 갖춘 KLA Optiprobe 2600은 오늘날 가장 발전된 반도체 제작 작업에 이상적인 wafer 테스트 및 도량형 솔루션입니다.
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