판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #9257351

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600은 반도체 장치의 고정밀 측정을 가능하게 하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA Optiprobe 2600은 반도체 웨이퍼 및 다이 레벨 기능의 실시간 최첨단 도량형을 제공합니다. 이 시스템에는 최대 200mm 웨이퍼를 수용 할 수있는 8 인치 처키 스테이지가 있습니다. 고유 한 화학적 청소 방법 과 결합 된 건조 한 기법 을 사용 한 광학 "산란법 '(optical scatterometry) 은 액체 침수 장치 의 필요성 을 제거 한다. TENCOR Optiprobe 2600에는 x, y 및 z 축의 웨이퍼 이동을 정확하게 제어하는 스테이지 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 또한 고해상도 매핑 모드가 포함되어 매우 상세한 측정이 가능합니다. 내장형 이미징 머신은 조명, 브라이트필드, 다크필드, 비스듬한 이미징 기능을 갖춘 탁월한 옵틱을 제공합니다. 이미저는 상세한 이미징 결과를 위해 13 메가 픽셀 해상도와 1 미크론 픽실레이션 이상을 제공합니다. THERMA-WAVE Optiprobe 2600에는 자동으로 도구 보정 최적화, 테스트 매개변수 최적화, 기능 실시간 정렬을 수행하는 "스마트" 소프트웨어 패키지가 있습니다. 또한 이 툴을 사용하면 기간별 데이터와 보고서, 실시간 데이터 시각화 (Visualization) 에 액세스할 수 있습니다. 고급 데이터 분석 (Advanced data analysis) 기능은 기능 크기, 형태, 위치 등과 관련된 프로세스 성능을 정확하게 결정할 수 있는 기능을 제공합니다. Optiprobe 2600은 높은 성능, 높은 정확도, 뛰어난 반복성을 필요로 하는 사용자에게 이상적인 도량형 및 측정 자산입니다. 이 모델은 높은 수준의 반복 가능성으로 신뢰할 수있는 측정 결과를 제공합니다. 그 에 더하여, 광범위 한 "웨이퍼 '크기 와 화학" 코우팅' 을 수용 할 수 있어서, 이 장비 는 여러 가지 용도 에 적합 하다. 고급 자동화 기능, 수동 개입 시간 최소화, 직관적인 소프트웨어 운영 기능을 갖춘 KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600은 반도체 웨이퍼 테스트 및 도량형 작업에 적합한 선택입니다.