판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #293828327

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600은 오늘날 반도체 산업의 테스트 및 도량형 요구 사항을 충족하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 3 가지 주요 기술 (광학, 주사 전자 현미경 (SEM) 및 열 분석) 중 최고를 결합하여 반도체 웨이퍼 및 실리콘 장치를 테스트하고 특성화하기위한 포괄적 인 솔루션을 제공합니다. KLA Optiprobe 2600은 특허받은 이중 옵션 현미경 설계를 사용하여 광학 및 전자 현미경 조사를 전환 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 전체 웨이퍼 테스트 및 여러 다이 분석 (예: 실패 분석, 결함 분류) 을 수행할 수 있습니다. 첨단 광학 마이크로스코프 (Optical Microscope) 가 장착되어 있어 최대 4K 이미지 해상도 (Optical Resolution) 를 제공하며, 직접 마이크로스코프를 조정할 필요 없이 크고 작은 기능을 자동으로 검사하고 분석할 수 있는 뛰어난 유연성을 제공합니다. 이 기계는 다이-투-다이 정렬 (die-to-die alignment) 을 측정하는 데 사용될 수 있으며, 와퍼를 통해 정밀한 정렬을 유지할 수 있으며, 고해상도 이상 검사 및 고정밀 매크로 및 마이크로 스케일링이 가능합니다. TENCOR Optiprobe 2600의 고급 SEM은 5nm 해상도를 달성하고 결함의 고해상도 이미지와 3D 표면 지형을 캡처할 수 있습니다. 또한 SEM에는 전압, 전류, 스테이지 위치 제어 기능이 있어 표면 매핑, 이미징, 펄스 측정이 가능합니다. 이 도구에는 반도체 장치 속성을 특성화하기위한 독점적 인 열 분석 컨트롤러도 있습니다. 이 자산은 0.06 ° K의 정확도에 도달할 수 있으며 -150 ~ + 300 ° C의 온도 범위에 걸쳐 전력 및 열 특성에 대한 데이터 획득 기능을 제공합니다. 이 3 가지 고급 기술의 조합으로 THEMA-WAVE Optiprobe 2600은 웨이퍼 테스트 및 도량형에 이상적인 도구입니다. 이 모델은 장치 성능, 결과적인 다이 레벨 (die-level) 및 웨이퍼 레벨 (wafer-level) 수율 개선 이니셔티브에 대한 신뢰할 수 있고 반복 가능한 측정을 제공합니다.