판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #293673758

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600은 집적 회로 결함을 감지하고 측정하는 데 사용되는 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 을 위해 설계되었으며, 소형화 된 장치에서 작은 기능의 임계 치수에 대한 정밀한 고속 인라인 도량형입니다. KLA Optiprobe 2600은 기본 장치, 광학 보드 및 디지털 판독 전자 장치의 3 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 기본 기계에는 서브 미크론 범위의 해상도가있는 x-y-z 동력 단계, 샘플 클램핑 도구 및 열 로드 보상 장치가 포함됩니다. 광학 보드는 고강도 조명 자산과 원격 중심 전면 반사 현미경으로 구성됩니다. 조명 모델은 4 개의 아크 램프, 2 개의 렌즈, 빔 스플리터 및 필터 휠로 구성됩니다. 이 장비에는 최대 정확도, 무대 Z 노브 (Z-Knob) 를 위해 방목하는 입사 레이저 초점 도구가 장착되어 있습니다. 디지털 판독 전자는 옵틱 보드에 연결되어 있으며, 웹캠, CCD 카메라, 포인트 탐지기 등이 있습니다. 웹캠과 CCD 카메라는 웨이퍼 테스트 구조의 이미지를 캡처하는 데 사용됩니다. "웹캠 '은 조밀 한 해상도 측정 에 사용 되고, 더 높은 해상도 인" CCD 카메라' 는 훌륭 한 측정 에 사용 된다. 포인트 검출기는 집적 회로의 작은 결함을 정확하게 감지하는 데 사용됩니다. TENCOR Optiprobe 2600은 몇 초 내에 테스트 구조의 고해상도 이미지를 캡처할 수 있습니다. 또한, 시스템은 여러 가지 검사 모드를 지원하며, 여러 가지 결함을 동시에 감지할 수 있습니다. 또한 결함 분류 및 이미지 처리를 위한 고급 (Advanced) 알고리즘을 제공하는 다양한 소프트웨어 애플리케이션과 호환됩니다. Optiprobe 2600은 안정적이고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 구성 능력이 뛰어나고 확장성이 뛰어나 연구와 산업용 어플리케이션 모두에 이상적입니다 (영문). 이 제품은 정확도, 속도, 다용도의 뛰어난 조합을 제공하며, 다양한 웨이퍼 (wafer) 검사 및 도량형 애플리케이션에 적합합니다.