판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #293617289

ID: 293617289
빈티지: 1995
Film thickness measurement system 1995 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600은 반도체 웨이퍼의 자동 광학 검사 및 도량형을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. KLA Optiprobe 2600 (Optiprobe 2600) 에는 고급 하드웨어와 소프트웨어 기능이 조합되어 있어 반도체 웨이퍼에 대한 빠르고 안정적인 검사를 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 정확한 웨이퍼 검사를 위해 0.0002/1 밀리미터 이내의 피쳐를 측정 할 수있는 정밀도를 갖춘 자동 광학 정렬 장치 (optical alignment unit) 를 갖추고 있습니다. TENCOR Optiprobe 2600에는 고해상도 CCD (Charge-Coupled Device) 카메라 머신이 있으며, 독특한 이미징 과학 원리를 통해 웨이퍼 각도, 기하학적 모양, 모서리와 같은 복잡한 웨이퍼 지형을 분석 할 수 있습니다. 고급 광학 (Optics) 과 정교한 알고리즘을 통해 쇼트 (Shorts), 오픈 (Open) 및 기타 비시각 결함과 같은 결함을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. 검사관은 또한 레이저 (laser) 와 조명기 (illuminator) 를 내장하여 미크론 (micron) 수준까지 피쳐의 시각화를 정의하는 기능을 갖춘 향상된 밝기 필드를 제공합니다. Optiprobe 2600 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 자산 (metrology asset) 은 컴팩트한 설계를 제공하며 설치 시간을 최소화하여 설정할 수 있습니다. 조작하기 쉽고, 웨이퍼 검사를위한 직관적 인 인터페이스를 제공합니다. 또한, 이 모델에는 웨이퍼 검사 데이터 (Wafer Inspection Data) 를 관리하기 위한 통합 장비가 내장되어 있어 많은 양의 정보를 빠르고 정확하게 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 고급 분석 패키지 (Advanced Analytics Package) 를 제공하므로 결과와 데이터를 분석하여 상세한 보고서와 지표를 제공할 수 있습니다. 또한 THERMA-WAVE Optiprobe 2600은 선 너비, 공백, 지름, 모서리 및 기타 물리적 특성과 같은 중요한 치수 매개변수를 감지하고 측정 할 수 있습니다. 또한 독보적인 프로세스 제어 (process control) 기능을 통해 수작업 없이 웨이퍼 (wafer) 생산 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 마지막으로, 이 장치는 자동 장애 분석 (Automated Failure Analysis) 및 품질 관리 (Quality Control) 용도로 사용될 수 있으므로 시간과 비용을 절약할 수 있습니다.
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