판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600 DUV #9200133

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600 DUV는 고급 심자외선 (DUV) 이미징 및 검사를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 장치의 최첨단 생산을 위해 향상된 프로세스 제어, 수익률 및 출시 시간을 제공합니다. KLA OPTIPROBE 2600 DUV 시스템은 고급 옵틱과 모든 반사, 텔레포커스 이미징 및 분광 현미경 장치를 결합하여 높은 해상도, 높은 처리량, 평균 동적 범위보다 높은 성능을 제공합니다. 즉, 낮은 수준의 검사와 오버레이 (overlay) 를 필요로 하는 이미징 어플리케이션을 위한 뛰어난 화질과 동적 범위 (dynamic range) 를 제공합니다. 이 기계에는 고급 광학 엔지니어링 패키지 (Optical Engineering Package) 가 장착되어 있으며, 이 패키지는 플라이트케이스 기반에서 고성능 광학을 제공합니다. 빠른 설정과 빠른 체인지오버, 최적화된 광 경로, 고급 다중 축 포지셔너 도구를 위한 저진동 (Low-Vibration) 디자인이 특징입니다. 이 자산에는 여러 가지 고급 도량형 (advanced metrology) 기능이 포함되어 있으며, 이 기능은 프로세스 제어를 극대화하고 개선을 실현하도록 설계되었습니다. 여기에는 다음과 같은 내용이 포함됩니다. 자동 웨이퍼 도량형 (Automated wafer metrology) 은 전체 필드 시스템과 비슷하지만 프로세스 모니터 배열로 인해 다용도가 향상되었습니다. 도량형 (Localized metrology) 으로 wafer의 대상 영역에서 도량형 작업을 가능하게 하며 정확도와 속도가 향상되었습니다. 동적 초점 추적 알고리즘으로, 장치 기능에서 더 나은 이미지 품질과 향상된 정밀도를 제공합니다. 통합된 고성능 이미징 (HPI) - 모델과 다른 분석 도구 간의 이미지 전송을 용이하게 하여 해상도와 선명도를 높입니다. TENCOR OPTIPROBE 2600DUV 장비는 고급 DUV 이미징 및 검사에 이상적인 솔루션으로, 중요한 반도체 어플리케이션의 생산량 및 출시 시간을 극대화하는 데 유용한 고효율적인 처리 기능을 제공합니다. 다양한 프로세스를 위한 고급 도량형 (Metrology) 기능과 함께 뛰어난 이미지 품질과 동적 범위 (Dynamic Range) 를 제공하며, 품질, 생산량 및 비용 효율성을 보장하는 강력한 도구입니다.