판매용 중고 KLA / TENCOR Therma-wave OP 3290DUV #9139673
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KLA/TENCOR Therma-wave OP 3290DUV는 최신 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 정확한 출력을 보장하기 위해 웨이퍼의 균일성을 정확하고 빠르게 측정합니다. 매우 저렴한 TCO (총 소유 비용) 를 제공하는 웨이퍼 옵티컬 프로파일러입니다. 광범위한 응용 프로그램에 대한 정확한 측정을 보장하기 위해 양수 (상승) 및 음수 (침몰) 표면에서 모든 유형의 웨이퍼 (wafer) 를 읽을 수 있다는 독특한 이점을 제공합니다. Therma-wave는 빨강, 녹색 및 자외선 (UV) 의 3 가지 광도 신호를 수집하는 고급 파장 선택 및 스위핑 광학을 사용합니다. 고급 광학은 패턴화 변화를 최소화하면서 고해상도, 안정적인 측정을 제공합니다. 그런 다음, 3 개의 광도 신호를 수집 및 분석하여 웨이퍼 조건에 대한 정보를 제공합니다. 그런 다음, 시스템은 트리플 파장 파워 평균 (power-averaging) 기술과 결합 된 이중 블루 라이트 프로브 (blue-light probe) 기술을 사용하여 웨이퍼를 측정 할 때 최고의 측정법을 취하고 사람의 오류를 제거 할 수 있습니다. 이는 모든 유형의 웨이퍼에서 최대 0.5um의 정확도를 보장합니다. KLA Therma-wave OP 3290DUV는 또한 안전한 장기 정확성을 위해 진동을 최소화하는 정밀 제어 공기 베어링 온 글라스 장치를 사용합니다. 이 기계에는 수작업 없이 최대 20 개의 웨이퍼를 동시에 테스트 할 수있는 완전 자동 웨이퍼 처리 (fully automated wafer-handling) 가 제공됩니다. 따라서 Wafer 테스트를 성공적으로 수행할 수 있는 정밀도로 더 빠른 출력 속도를 제공합니다. 웨이퍼 (wafer) 테스트의 중요 데이터는 여러 언어로 제공되는 포함 분석 소프트웨어 (analysis software) 에 의해 처리됩니다. 이 소프트웨어는 품질 관리 (Quality Assurance) 보고서를 상세하게 작성하여 신속하고, 안정적이며, 효율적인 생산성을 위해 품질을 객관적으로 평가하고, 최적화할 수 있습니다. 또한, 이 소프트웨어는 자동화된 학습 (learning) 및 자가 수정 (self-correction) 모델을 통해 데이터를 정확하고 오류 없이 사용할 수 있습니다. TENCOR Therma-wave OP 3290DUV는 웨이퍼의 정확한 측정을 보장하기위한 이상적인 솔루션입니다. 고급 옵틱 선택, 정밀 제어 공기 베어링 온 글래스 도구, 자동 웨이퍼 핸들 및 사용 가능한 여러 언어로, 이 웨이퍼 옵티컬 프로파일러는 TCO (총소유비용) 를 최소화하면서 빠르고 정확한 웨이퍼 테스트 및 데이터 처리를 제공합니다.
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