판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9250104

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600은 실리콘 웨이퍼의 특성화에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 단일 웨이퍼의 두께, 굴절률, 유전체 상수 및 기타 매개변수를 측정하도록 설계되었습니다. 단일 프로세스에서 150mm 및 200mm 웨이퍼를 측정하여 사이클 시간을 줄이고 유지 보수 다운타임을 줄일 수 있습니다. KLA OP 2600은 굴절 지수, 두께, 측벽, 두께 균일, 유전체 상수, 접착된 필름 레벨, 장벽층 균일성, 평평, 기판 품질, 반사율 및 거칠음을 포함한 다양한 측정을 지원합니다. 이러한 측정은 가변 주파수 (variable frequencies) 와 각도 (angle) 에 대해 수행되므로 다양한 특성 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 지속적인 반복성과 정밀성을 위해 다양한 자동 보상 (automated compensation) 기술이 장착되어 있습니다. 이 기계는 최대 4 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있으며, 온도는 실온에서 500 ° C입니다. 여기에는 가열 된 단계가 포함되어 있으며, 최대 500 ° C의 온도를 측정 할 수 있습니다. 또한 실시간 데이터 수집, 분석, 진단, 제어 기능을 통해 보다 효율적이고 최적화된 프로세스를 수행할 수 있습니다. 에셋에는 레이저 간섭법 (laser interferometry), 웨이퍼의 광학 두께를 측정하기위한 정밀 접근 방식도 포함됩니다. TENCOR OP 2600에는 오류 검사 도구가 포함되어 있으며, 사용자 지정 가능한 사전/사후 프로세스 소프트웨어를 제공하여 운영 시간을 단축합니다. 이 모델에는 자동 교정 스테이션 (calibration station) 이 장착되어 있어 정확성과 반복성이 보장되고 수동 교정 단계가 제거됩니다. 또한, 장비에는 운영자 콘솔과 라이트 바 (light bar) 그래프가 모두 포함되어 사용자에게 피드백을 제공합니다. 전반적으로 THERMA-WAVE OP 2600 (WAVE OP 2600) 은 유능한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로, 전문가는 단일 웨이퍼에서 다양한 매개변수를 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. 다재다능성, 정확성, 반복성은 실리콘 웨이퍼 특성화를위한 가치가 있고 신뢰할 수있는 도구입니다.