판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9215499
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ID: 9215499
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
Film thickness measurement system, 8"
SMIF System: (2) Indexers
Handler system: Robot unit
NANOMETRIC / ACCENT Q240AT
1994 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최대 직경 200mm (wafer) 의 매우 정확한 테스트를위한 포괄적 인 패키지를 제공합니다. 그 특유의 특징은 광범위한 웨이퍼 (wafer) 구조에서 빠르고 안정적인 결함을 감지 할 수 있습니다. KLA OP 2600 시스템은 고급 광학 및 레이저 도량형 도구를 사용하여 테스트를 수행합니다. 광학 장치는 해상도, 반복 가능성 및 정확성을 제공하는 3 피스 고정 광학 기계를 사용합니다. 레이저 도구는 반사도, 웨이퍼 프로파일, 모양, 두께, 서피스 거칠기 등과 같은 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 또한 소프트웨어 아키텍처 (Software Architecture) 에 통합된 여러 소프트웨어 알고리즘은 이미지 분석을 지원하고 광범위한 데이터 처리 기능을 제공합니다. 자산은 특허받은 멀티 웨이퍼 홀더를 사용하여 여러 웨이퍼를 동시에 자동으로 테스트할 수 있습니다. 따라서 웨이퍼 테스트와 품질 보증 프로세스가 쉽고 빨라집니다. 소프트웨어 제품군은 데이터 수집 (Data Acquisition) 과 데이터 처리 (Data Processing) 를 자동화하여 당일 테스트 결과를 전달합니다. 텐코 OP 2600 (TENCOR OP 2600) 은 분광법 및 표면 분석과 같은 비 접촉 도량형 기술을 사용하여 웨이퍼를 특성화하는 데 사용될 수도 있습니다. 이를 통해 표준 실리콘 웨이퍼, SOI (실리콘 온 인슐레이터) 웨이퍼, STI (얕은 트렌치 격리) 웨이퍼, MEM (마이크로 전기 기계 모델) 웨이퍼 등 다양한 웨이퍼 구조에 대한 정확한 데이터를 생성 할 수 있습니다. 등. THERMA-WAVE OP 2600은 가혹한 환경 상태를 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 이 장비 는 자동 "클리닝 '장치 를 갖추고 있으며 환경 친화적 인 액체 청소" 솔루션' 을 이용 하여 "테스트 '가 오염 되지 않도록 한다. 또한, 이 시스템은 EMC 지침 (Directive) 과 같은 다양한 안전 규정을 준수하며, 이 장치를 사용할 때 안심할 수 있습니다. 전체적으로 OP 2600은 정밀도, 속도, 정확성이 필요한 제조 프로세스에 이상적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 첨단 광학/레이저 도량형 (Optical/Laser Metrology) 기능과 환경 규정 준수를 통해 모든 실험실 또는 생산 시설에 안정적이고 귀중한 기능을 제공합니다.
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