판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9214770

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600은 반도체 장치에서 중요한 측정이 가능한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 매우 정확한 시스템은 차세대 칩과 집적 회로를 연구하고 개발하는 데 사용됩니다. ASOM (Automated Scanning Optical Microscope) 과 WLI (White Light Interferometer) 를 포함하여 웨이퍼 측정을 위해 2 개의 광학을 사용합니다. ASOM은 반도체 장치 표면의 2D 컨투어 이미지와 3D 지형 맵을 모두 생성 할 수 있습니다. 최대 1 nm (1 nm) 의 고해상도를 가지며, 10 nm (10 nm) 의 작은 수직 높이를 가진 피쳐를 구별하여 높은 정밀도와 정확도를 제공합니다. WLI (WLI) 는 반사광의 간섭에 의존하여 표면의 3D 맵을 만드는 이미징 기술입니다. 또한 광학 현미경으로 볼 수없는 3 차원 형태의 마이크로 (micro) 특징과 표면 거칠기를 공개 할 수 있습니다. WLI의 해상도는 40nm이며 0.2nm-2.0nm 사이의 거칠기를 측정하는 데 사용할 수 있습니다. KLA OP 2600은 ProgRScan 프로그램에 의해 구동되며, 이는 웨이퍼 및 장치 연구를 위해 특별히 설계된 소프트웨어 패키지입니다. ASOM 및 WLI 모두를 제어 및 동기화할 수 있으며, 피쳐 인식, 매개변수 측정, 데이터 분석 등 여러 기능을 통합합니다. 또한 회귀 분석, 히스토그램 분석, 주요 컴포넌트 분석 등 다양한 분석 방법을 사용할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 사용자 친화적 (user-friendly) 으로 설계되었으며, 제조 업체의 다른 프로세스에서 쉽게 내보낼 수 있습니다. 또한 TENCOR OP 2600 장치는 완전히 자동화되어 테스트 처리량을 크게 늘리는 한편, 사용자의 노력을 최소화하면서 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 시스템을 사용하는 자동화된 프로세스는 또한 수동 프로세스와 관련된 오류를 줄이는 데 도움이 됩니다. 또한, 디바이스 개발, 운영 테스트와 같은 작업 시간/비용을 대폭 줄일 수 있습니다. 전반적으로 THERMA-WAVE OP 2600 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구는 장치 및 반도체 연구 및 개발을 위해 고정밀 측정을 제공합니다. 최첨단 칩과 집적회로 개발에 필요한 정확성과 세부 (detail) 를 제공하는 매우 높은 해상도로 웨이퍼 (wafer) 를 안정적으로 측정할 수 있습니다. 또한, 자동화된 프로세스는 오류를 줄이고, 처리 시간을 줄이고, 수익성을 높이는 데 도움이됩니다.