판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9212477

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600은 단일 통합 패키지에서 포괄적 인 도량형 측정을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 X 선, 광학 및 레이저 기반 기술을 사용하여 서로 다른 제작 단계에서 반도체 웨이퍼를 정확하게 검사하고 측정합니다. KLA OP 2600은 정확하고 재현 가능한 측정 결과를 위해 안정적인 측정 환경을 제공하는 대규모 자동 측정 챔버 (automated measurement chamber) 를 갖추고 있습니다. 이 장치는 레이저 구동 광학 투영 (optical projection) 을 사용하여 웨이퍼에서 중요한 피쳐와 포토마스크 (photomask) 를 정의하는 매개변수와 세부 치수를 읽고 비교합니다. 또한, 이 기계는 X 선 검사 기술을 사용하여 웨이퍼 표면의 고해상도 이미지를 획득하여 표면 마무리, 모양, 피쳐 치수, 서피스 청결 등과 같은 특성에 대한 자세한 평가를 제공합니다. 이 장비는 반도체 (semiconductor) 제작 프로세스에 잘 적합하며, 광범위한 웨이퍼 (wafer) 크기에서 빠르고 포괄적인 칩 측정 및 테스트 기능을 제공합니다. 이 도구는 레이저 주사 현미경, 주사 전자 현미경, 원자력 현미경 기능을 추가하여 쉽게 확장 할 수 있도록 설계되었습니다. 내장 소프트웨어 기능에는 데이터 처리, 결함 인식, 측정 및 비교가 포함됩니다. TENCOR OP 2600은 검사 된 웨이퍼의 3D 이미지를 빠르고 쉽게 생성하는 데 사용할 수있는 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 갖추고 있습니다. 또한 GUI 는 분석 및 데이터 출력에 대한 액세스를 제공하여 품질 관리 (Quality Control) 및 연구 활동을 지원합니다. 이 자산은 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형 업계에서 가장 높은 ISO 표준을 충족하며 자동화되고 정확한 도량형 (metrology) 측정을 수행하려는 고객을 대상으로 합니다. 수십 년 동안 THERMA-WAVE OP 2600은 다양한 반도체 제작 프로세스에서 품질 제어의 벤치 마크였습니다. 이 모델은 최신 레이저 및 X-ray 기술을 사용하여 탁월한 도량형 정밀도 및 반복 성을 제공합니다. 이 장비를 통해, 고객은 반복 가능하고 안정적인 측정 결과를 얻을 수 있으며, 웨이퍼 (wafer) 검사 및 도량형에 필요한 시간과 비용을 대폭 줄일 수 있습니다.