판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #9200134

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600
ID: 9200134
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600은 반도체 제품의 정확하고 반복 가능한 측정을 제공하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 통합 된 2 레이저, 화이트 라이트 위상-시프트 간섭계를 사용하여 photolithography CD, dicing line width, overlay registration 및 기타 매개변수를 포함한 반도체 웨이퍼의 광범위한 매개 변수를 측정합니다. 이 장치는 또한 반도체 장치의 전기 특성을 측정 할 수 있습니다. KLA OP 2600 (KLA OP 2600) 에는 다양한 기능을 통해 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. 이 기계에는 고해상도 CCD 카메라가 장착되어 있어 웨이퍼 패턴 (wafer pattern) 을 정확하게 측정할 수 있으며, 강력한 마이크로프로세서 (microprocessor) 를 통해 다양한 매개변수를 빠르고 안정적으로 분석할 수 있습니다. 이 도구에는 거의 모든 크기나 모양의 웨이퍼를 수용할 수있는 모듈식 플레이트 테이블 (Modular Plate Table) 이 포함되어 있으며, 다양한 광학 컴포넌트를 장착하여 다른 매개변수를 측정 할 수 있습니다. TENCOR OP 2600은 이미지 처리 프로그램, 전기 특성 분석, 오버레이 등록 분석 등, 다양한 소프트웨어 패키지를 사용하여 생성한 데이터를 분석합니다. 에셋은 사용자 친화적 (user-friendly) 으로, 사용자가 생성한 데이터에 대한 다양한 그래픽 및 표 (tabular) 표현을 제공합니다. 또한 다양한 진단 도구 (Diagnostic Tools) 를 사용하여 모델이 제대로 작동하는지 확인합니다. THERMA-WAVE OP 2600은 웨이퍼 테스트 및 도량형을 수행하는 데 유용한 도구입니다. 사용하기 쉽고, 다양한 wafer 매개 변수에서 신뢰할 수 있는 데이터를 생성합니다. 생산 공정 (Production Process) 의 평가와 새로운 공정 (Process) 에 대한 연구 및 개발에 사용될 수 있습니다. 장비는 작고, 내구성이 있으며, 빠르고 정확하게 신뢰할 수있는 결과를 제공합니다.
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