판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293820412
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ID: 293820412
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 1997
Film thickness measurement system, 6"-8"
Measurement tool: BPR, BPE, VAS
SBC Board, CPU Pentium III 600 MHz
COGNEX 3000 Vision system
Robot
ESC200 Controller
1997 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 웨이퍼 분석 및 특성을 위해 설계된 통합 도량형 플랫폼입니다. 그것은 두 가지 주요 구성 요소, 즉 도량형 하위 시스템과 테스트 하위 시스템으로 구성됩니다. 도량형 하위 시스템은 다이 레벨 이미지를 수집하고 분석하기위한 CCD 스테레오 현미경을 특징으로합니다. 자동 초점 시스템, 자동 교정 장치 및 이미지 처리 기계가 장착되어 있습니다. CCD 출력은 고급 패턴 인식 알고리즘을 사용하여 분석하여 다이 높이, 절단 위치, 다이 틸트 (die tilt) 및 기타 관련 매개변수를 결정합니다. 테스트 하위 시스템은 열 측정 도구와 자동 누수 감지 에셋으로 구성됩니다. 열 측정 모델은 저전력 IR 빔 (IR beam) 을 웨이퍼에 보내고 방출 된 열 에너지를 측정하여 웨이퍼의 열 전도도를 측정합니다. 자동 누출 감지 장비는 웨이퍼 (wafer) 표면의 균열 또는 기타 결함을 감지하도록 설계되었습니다. 고속 스캐닝 레이저 (Scanning Laser) 를 사용하여 웨이퍼의 전체 표면을 스캔하고 결함을 감지합니다. 전반적으로 KLA OP 2600 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 웨이퍼 분석 및 특성화를위한 강력하고 안정적인 플랫폼입니다. 자동화된 초점 및 교정 시스템, 패턴 인식 알고리즘, 열 측정, 자동 누출 감지 시스템 등을 통해 높은 수준의 정확성과 정확도를 제공합니다. 이 플랫폼 운영자를 통해 단일 통합 도량형 장치 (integrated metrology unit) 로 다양한 웨이퍼 유형을 빠르고 정확하게 분석 및 특성화할 수 있습니다.
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