판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293766853

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600
ID: 293766853
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 제품 웨이퍼를 분석하고 프로세스를 모니터링하도록 설계되었습니다. 광학 프로파일 로메트리, 산란 측량 및 주사 전자 현미경 (SEM) 의 조합을 제공합니다. KLA OP 2600의 광학 프로파일로메트리는 적외선 빔 광학 장치를 사용하여 입사 각도에서 3D 지형 측정을 얻습니다. 이 데이터는 고해상도 토폴로지 이미지와 정량적 프로파일을 생성하는 데 사용됩니다. 기계는 거칠기, 스텝 높이, 그레인 크기 및 기타 표면 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. TENCOR OP 2600의 산란 측량 모듈은 웨이퍼 및 기타 객체의 광학 모양 특성을 위해 설계되었습니다. 이 도구는 중요한 성능 평가에 필수적인 뛰어난 광도 정확도를 가지고 있습니다. 각도, 색상, 패턴 결함, 긁힘, 안개 및 기타 표면 결함의 정확한 측정을 제공합니다. THERMA-WAVE OP 2600의 스캔 전자 현미경 모듈은 마이크로 스케일 이미징 및 분석을 제공합니다. 전자 광학 자산은 이미지 해상도와 세부 사항을 향상시킵니다. 이 모듈은 곡물 크기, 입자 오염 및 다공성을 측정하는 데 사용될 수 있습니다. 또한 topdown 및 cross-section 모드 모두에서 3D 웨이퍼 표면을 검사 할 수 있습니다. OP 2600에는 공기 오염을 줄이는 낮은 방출 모델도 있습니다. 유지 보수 또는 오염 해제를 위해 종료하지 않아도 장기간 중단되지 않는 작업이 가능합니다. 이 장비에는 직관적인 소프트웨어 (직관적인 소프트웨어) 가 있어 시동 시간을 최소화하면서 다른 테스트/측정 절차를 통해 운영자가 빠르게 이동할 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600은 강력하고 다용도 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 광학 프로파일 로메트리, 산란 측량, 스캐닝 전자 현미경의 조합으로 웨이퍼 표면에 대한 정확하고 상세한 분석이 가능합니다. 낮은 방출 장치 (Low-Emission Unit) 와 직관적인 소프트웨어 (Software) 는 다운타임을 최소화하면서 길고 효율적인 작동을 가능하게 합니다.
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