판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293649607

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600은 빠른 자동차 및 장치 검증 테스트를 가능하게하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. "뉴우요오크 '는 여러 가지 반도체" 웨이퍼' 의 결함 을 탐지 하고 식별 하고, 그 결함 을 상세 히 측정 하고 분석 하도록 설계 되었다. 이 시스템은 광학 렌즈 어레이, 이중 푸리에 분석 (dual-fourier analysis) 및 디지털 이미지 상관 관계 기술로 구성되어 나노 스케일 (nanoscale) 수준에서 웨이퍼를 빠르고 정확하게 검사 할 수 있습니다. KLA OP 2600의 광 렌즈 (optical-lens) 어레이는 두께가 0.5 ~ 20 마이크로미터인 얇은 레이어를 작동하고 측정하도록 최적화되었습니다. 이는 가장 작은 결함조차도 뛰어난 정확도로 감지됩니다. 이 장치의 이중 푸리에 (dual-fourier) 분석 및 디지털 이미지 상관 관계 기술 (digital image correlation technology) 을 통해 실시간 모드와 오프라인 모드 모두에서 측정할 수 있습니다. 따라서 Wafer 성능, 품질에 대해 빠르고, 안정적인 결정을 내릴 수 있습니다. 또한 컴퓨터의 고급 이미징 기능 (Advanced Imaging Capability) 을 통해 전반적인 디바이스 적합성에 대한 평가를 정확하게 생성할 수 있습니다. 이 작업은 측정 결과를 고객 사양과 비교하여 수행됩니다. TENCOR OP 2600은 또한 자동 검증/측정 설정을 특징으로하며 5 분 이내에 특정 테스트를 설정할 수 있습니다. 이 자동 테스트 프로세스를 통해 처리량 증가, 주기 시간 단축, 프로세스 개선 등의 효과를 얻을 수 있습니다. 또한 전용 웨이퍼 처리량 계산 알고리즘을 통해 웨이퍼 사이클 시간 (wafer cycle time), 인쇄 횟수 (print count) 및 기판을 자동으로 추정할 수 있습니다. 이를 통해 적절한 생산 프로세스를 보장하고 실수로 인한 폐기물을 줄일 수 있습니다. THERMA-WAVE OP 2600에는 자동 결함 식별 및 분류 기능도 포함되어 있어 초기 결함 조사에 소요되는 시간을 줄이고 허위 (false) 를 최소화합니다. 이것은 또한 시각적 검사를 가속화하고 더 정확하게 웨이퍼를 진단하는 데 도움이됩니다. 전체적으로 OP 2600은 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 씬 레이어 장치의 고해상도, 정확도 측정 및 분석을 제공합니다. 광 렌즈 어레이, 이중 푸리에 (fourier) 분석, 디지털 이미지 상관 관계 기술을 통해 고해상도 세부 사항을 빠르고 안정적으로 검사하고 측정할 수 있습니다. 또한, 자동화된 테스트 기능을 통해 처리량을 높이고, 주기를 줄이고, 전반적인 프로세스 성능을 향상시킬 수 있습니다.