판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293634793

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600은 주로 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 최대 12 개의 웨이퍼 (wafer) 사이트에 대해 동시 도량형 측정을 제공합니다. 따라서 적은 설치 공간에서 처리량을 극대화할 수 있습니다. 이 장치는 계단식 프로파일, 라인 스캔, 전기 누출, 커패시턴스, 저항성 등 다양한 측정을 수행 할 수 있습니다. 이 시스템의 소프트웨어는 사용자 친화적이며, 사용자 정의 가능한 화면이 가능하므로 설치와 사용이 간편합니다 (영문). KLA OP 2600은 KLA 2D 검사 소프트웨어와 통합되어 탁월한 데이터 수집 및 분석 기능을 제공합니다. 또한, 이 툴은 업계 표준 품질 (Quality) 프로세스를 준수하도록 설계되어 프런트엔드 (Front-End) 및 백엔드 (Back-End) 운영 프로세스에 적합합니다. 이 자산은 특허를받은 레이저 기반 플랫폼을 사용하여 웨이퍼 기능과 결함을 정확하게 감지하는 TENCOR 고속 FlexTech 감지 모델 (High Speed FlexTech Detection Model) 로 구동됩니다. 이를 통해 장비는 25 나노 미터까지 작은 기능을 측정 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 측정의 정확성을 보장하기 위해 6 점 광학 검출기와 정밀 현미경을 갖추고 있습니다. 이 장치는 사이클 당 12 개의 150mm 웨이퍼 용량이며, 추가 유연성을 위해 유니버설 티저 지원 로봇이 장착되어 있습니다. 또한, 로봇에는 최대 웨이퍼 처리량을 위해 12 개의 독립 전자 카운팅 채널이 장착되어 있습니다. 또한, 기계에는 자동 웨이퍼 확인, 초점 인식, 정렬, 자동 다시 검색 기능 등 다양한 자동 기능이 장착되어 있습니다. 웨이퍼 수축, CD/CD 변형 및 Focus/NPDF를 포함한 다양한 도량형 기술과 호환됩니다. 이 툴의 소프트웨어는 프로세스 최적화 툴을 통합하고 프로세스 효과에 대한 실시간 피드백을 제공하여 프로세스 제어를 강화하고 출시 시간을 단축할 수 있도록 설계되었습니다 (영문). 또한, 이 자산은 매우 유연하게 설계되어, 다양한 3D 이미징 옵션을 제공하며, 다양한 소프트웨어 패키지와 통합됩니다. 전체적으로 TENCOR OP 2600은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 완벽한 솔루션을 제공합니다. 사용이 편리하고 사용자 정의 가능한 소프트웨어는 설치가 간편한 플랫폼 (Setting Platform) 을 제공하며, 고급 감지 모델 (Detection Model) 과 다양한 자동 기능을 통해 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.