판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE FX 200 #9240151

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200은 다양한 반도체 웨이퍼 제조 프로세스에서 처리량 및 정확성을 극대화하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 고급 시스템은 비접촉식 광학 (non-contact), 광학 (contact), 저항성 (resistivity) 및 시어포스 (Shearforce) 의 네 가지 정교한 납매 기술을 통합하여 각 웨이퍼에 대한 필수 데이터를 수집 할 수 있습니다. KLA FX 200은 현대 이미징 및 광학 시스템, 열전대, 디지털 CCD/CMOS (전하 결합 장치 또는 보완 금속 산화물 반도체) 카메라 및 고급 광학을 사용하여 반도체 웨이퍼를 가장 잘 분석합니다. TENCOR FX 200은 특정 단계 (예: 캡처, 표시, 각 웨이퍼 스캔 결과 기록) 를 작동하고 프로그래밍하기 위해 특화된 소프트웨어가 필요합니다. 이 소프트웨어는 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 사용하여 데이터를 손쉽게 탐색하고 해석할 수 있습니다. 이 장치는 또한 전체 기록 보존 기능을 갖춘 확장 로그 북 기능을 제공합니다. 통합 열전대 측정 머신 (thermocouple measurement machine) 을 사용하면 온도 조절을 철저히 수행하면서 웨이퍼를 자신있게 처리 할 수 있습니다. FX 200은 정확하고 정확한 검사를 위해 여러 가지 고급 광 기술을 사용합니다. 여기에는 전체 웨이퍼에 대한 대규모 분석을위한 비접촉 광학 도구가 포함됩니다. 스팟 결함을 매핑하기위한 접촉 광 자산; 세부 하위 표면 데이터에 대한 전단 포스 이미징. 또한, 이 모델은 저항성 및 수명을 측정하기위한 저항성 측정기를 특징으로합니다. THERMA-WAVE FX 200 장비는 자동 결함 매핑 (automatic defect mapping), 동적 피쳐 인식 (dynamic feature recognition), 자동 벤치마킹 기능 등 최대한의 정확성을 보장하기 위해 여러 가지 다른 기능을 제공합니다. 또한 데이터 정확성을 확인하고 웨이퍼 품질을 보장하기 위한 통합 사용자 정의 품질 제어 시스템 (User Defined Quality Control System) 도 포함되어 있습니다. 또한 KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200은 와퍼 표면 및 제작 공정의 디지털 비디오를 만들기 위해 즉석 비디오 측정을 수행 할 수 있습니다. 전반적으로 KLA FX 200은 반도체 제작 프로세스의 수율, 처리량, 정확성을 최적화하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 이 종합적인 머신은 강력한 통합 기술과 소프트웨어를 통해 철저한 검사 및 품질 관리 (quality control) 를 보장합니다.