판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE FX 200 #9236721

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE FX 200
ID: 9236721
웨이퍼 크기: 12"
Film thickness measurement system, 12".
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200은 와퍼 표면 모양, 두께 및 지형의 정확하고 정확한 측정을 제공하는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 첨단 "센서 '와 광학" 시스템' 을 이용 함 으로써 이러 한 측정 을 빠르고 효과적 으로 할 수 있다. KLA FX 200은 "Automatic Wafer Profiling", "Three Plane Slice Measurement" 및 "Gaze Interference" 와 같은 고유 한 기술을 구현하여 시스템이 최대 0.5nm의 정확도로 표면 결함, 웨이퍼 곡률 및 기타 속성을 정확하게 분석 할 수 있습니다. 또한, TENCOR FX 200에는 테스트 및 도량형 프로세스를 원활하게 자동화 할 수있는 자동 웨이퍼 처리 장치가 장착되어 있습니다. THERMA-WAVE FX 200에는 다양한 유형의 표면 결함 및 기타 이상 신호를 감지 할 수있는 고급 알고리즘이 포함되어 있습니다. 기계는 전체 웨이퍼 표면을 스캔하여 힐록 (hillocks), 피트 팅 (pitting), 수정 (crystal misorientation) 과 같은 매력적인 결함을 극도로 정확하게 감지 할 수 있습니다. 또한 핀홀, 유한 모서리 선, 기타 미묘한 피쳐와 같은 매우 미세한 서피스 피쳐를 감지하고 측정할 수 있습니다. 또한 강력한 광학 자산 (Optical Asset) 과 고급 알고리즘 (Advanced Algorithm) 으로 인해 다양한 인수를 빠르고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 따라서 다운타임 감소와 제품 품질 향상을 통해 현장 실시간 인라인 (inline) 생산을 수행할 수 있습니다. FX 200 모델은 비접촉 및 접촉 측정이 가능합니다. 그것 은 강렬 한 광원 을 사용 하여 극도 의 정밀도 로 "웨이퍼 '의 표면 특징 을 정확 하게 측정 한다. 또한, 이 장비에는 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 웨이퍼의 테스트 및 도량형과 관련된 자세한 그래픽 정보를 제공할 수 있습니다. 따라서 이 시스템은 전문가와 경험이 부족한 사용자 모두에게 쉽게 사용할 수 있습니다. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200 장치는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 최고의 솔루션입니다. 첨단 기능 (최첨단 기능) 과 정확한 결과 (정확한 결과) 를 결합하여 연구원과 제조업체는 효율적이고 경제적인 방식으로 웨이퍼를 정확하고 신속하게 모니터링하고 분석할 수 있습니다.
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