판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE 45-014824 #293672012
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KLA/TENCOR/THERMA-WAVE 45-014824 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 빠르고 정확한 웨이퍼 측정을 위해 설계되었습니다. 이 제품은 중요한 치수, 패턴 형상, 모서리 매개변수, 단계를 빠르고 편리하게 검사하는 자동화된 견고한 시스템을 자랑합니다. 이 단위에는 플랫 웨이퍼 (flat wafer) 와 커브 및 상승 범프 (bump) 를 측정하는 기능이 있습니다. KLA 45-014824 머신은 반도체 웨이퍼 (wafer) 에서 다양한 기능을 정확하게 측정 할 수있는 종합적인 도구를 제공합니다. 회색 음영 카메라를 사용하여 2 차원 (2D) 간섭 이미지를 촬영합니다. 그런 다음 CD (critical dimension) 매개 변수를 측정하는 데 사용됩니다. 또한 홈 매개 변수를 식별하고 측정하기 위해 레이저 패턴 인식 에셋을 사용합니다. 모델에는 단계 높이를 측정하는 기능도 있습니다. 이 장비에는 사용자 친화적 인 인터페이스와 다양한 디스플레이 옵션 (Display Option) 이 장착되어 있어 측정 시 편리성과 신뢰성을 제공합니다. 또한 시스템은 CD 통계 분석과 같은 데이터 분석 기능을 제공합니다. 또한 4 축 웨이퍼 스테이지에 통합되어 측정하는 동안 자동 단계가 가능합니다. TENCOR 45-014824 (TENCOR 45-014824) 는 여러 팁에서 동시에 측정할 수 있도록 시야가 겹치는 빠르고 안정적인 측정을 위해 설계되었습니다. 동적인 상호 작용 제어 기술 (Dynamical Interaction Control Technology) 은 진동 및 환경 드리프트를 제거하여 웨이퍼에서 웨이퍼까지 지속적으로 신뢰할 수있는 측정을 지원합니다. 이 장치는 소형 패턴 변형에 관계없이 반복 가능한 CD 측정을 보장하는 고전압 FEE 회로를 사용합니다. 기계에는 다양한 기능이 장착되어 있어 반복성 모니터 (closed-loop feedback) 와 같은 정확한 측정이 가능합니다. 자동화된 루틴은 신속하고 편리하게 웨이퍼를 측정할 수 있도록 제공되며, 사용자 정의 측정 스크립트 (custom measurement script) 를 작성하기 위한 레시피 (recipe) 라이브러리가 포함되어 있습니다. 또한, 이 툴은 개방형 아키텍처를 갖추고 있으므로 다양한 도량형 툴과 통합하여 기능 인식 (feature recognition) 및 데이터 통합을 지원합니다. 전반적으로 THERMA-WAVE 45-014824는 여러 매개변수 및 기능에 대한 웨이퍼를 효율적으로 측정하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 이 모델은 업계 최고의 성능, 처리량, 정확성을 제공하며, 다른 도량형 툴과 쉽게 통합됩니다. 이 제품은 고급 반도체 제작 및 생산 응용프로그램의 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 및 테스트 (testing) 를 위한 완벽한 선택입니다.
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