판매용 중고 KLA / TENCOR SpectraShape 8660 #293630250

KLA/TENCOR SpectraShape 8660은 웨이퍼의 결함을 검사하는 데 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 고해상도 비접촉 2D 및 3D 측정을 모두 제공하는 간섭계가 장착되어 있습니다. 웨이퍼는 빠른 탐색 및 정확한 위치를 지정하기 위해 조절 가능한 4 축 단계에 마운트되어 결함 크기, 컨투어 프로파일 (contour profiles), 평면도 (flatness) 및 기타 매개변수를 측정할 수 있습니다. 이 장치는 6 인치 (표준) 및 8 인치 (옵션) 웨이퍼를 포함하여 다양한 구성 요소를 통해 최대 0.1nm 반복 (0.02nm 이하) 할 수 있습니다. KLA SpectraShape 8660에는 다양한 장점, 결과 및 워크플로우를 개선하는 데 도움이 됩니다. 여기에는 결함 검토 및 수정을위한 NCM (non-contact metrology) 도구가 포함 된 자동 비접촉 2D (높이) 측정 시스템이 포함됩니다. 또한 이 자산은 자동 초점 기능을 제공하여 보다 빠르고 효율적으로 작업할 수 있습니다. 또한, 플랫폼에는 다양한 결함을 신속하게 파악하고 해결하기 위해 고급 원 버튼 (one-button) 결함 검토 모델이 장착되어 있습니다. 종합적인 데이터 관리 장비를 사용하면 모든 결과를 손쉽게 저장, 분석, 아카이빙할 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 유연한 테스트 프로토콜 개발 (flexible test protocol development) 옵션이 장착되어 있으며, 여기서 사용자는 테스트를 안내하기 위해 사용자 정의 알고리즘을 만들 수 있습니다. 운영자는 또한 다양한 대화형 3D 시각화 (Visualization) 방식으로 데이터를 보고, 데이터 프레젠테이션을 사용자 정의하여 품질 관리 (Quality Control) 를 지원합니다. TENCOR SpectraShape 8660 (TENCOR SpectraShape 8660) 은 웨이퍼 테스트와 도량형 분야에서 시간과 노동을 모두 절약할 수 있는 다용도 도구입니다. 기능 및 옵션은 반복 가능한 결과와 함께 매우 정확한 측정을 제공합니다. 또한, 내장된 데이터 관리 및 테스트 프로토콜 개발을 통해 운영 단순화, 효율성 및 정확성 향상, 비용 절감 등의 이점을 누릴 수 있습니다.