판매용 중고 KLA / TENCOR SpectraShape 8660 #293587780

KLA/TENCOR SpectraShape 8660은 광범위한 웨이퍼 도량형 요구 사항에 적합한 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 탁월한 정확성, 반복성, 처리량을 제공하여 정확한 웨이퍼 (wafer) 측정 및 검사에 이상적인 솔루션입니다. KLA SpectraShape 8660은 최대 125m에 이르는 정확한 표면 측정을 위해 설계된 자동화된 고해상도 시스템입니다. 자동 스캔 (AutoScan) 이라는 표면 도량형 간섭법 (surface metrology interferometry) 기술을 사용하여 측정 및 검사의 정확성을 보장합니다. 이 기술은 매우 간격이 깊은 지점에서 웨이퍼를 스캔하고, 여러 파장을 이용해 측정 (measing) 데이터를 생성하는 방식으로 작동합니다. 이 단위는 패턴 형 트렌치 깊이, 게이트 간격, 지름 및 접촉 구멍 크기 (contact hole size) 와 같은 다양한 중요한 매개변수를 측정 할 수 있습니다. TENCOR SpectraShape 8660에는 대규모 고해상도 VGA 디스플레이가 장착되어 있어 결과를 볼 수 있습니다. 강력한 내부 데이터 처리 (internal data processing) 기능을 통해 신속하게 데이터를 분석하고 제시할 수 있습니다. 이 기계는 또한 다양한 프로브 (Probe) 옵션과 고급 CCD 카메라를 지원하여 운영자의 액세스 및 정확성을 도울 수 있습니다. KLA는 또한 SpectraShape 8660에 대해 여러 가지 부가 가치 기능을 제공합니다. 이 중 하나는 독점 'Spectronet' 소프트웨어로, 여러 사이트에서 데이터를 손쉽게 생성, 모니터링, 검토할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 원격 워크스테이션과 데이터를 공유하고, 보고서를 손쉽게 검토할 수 있습니다. KLA/TENCOR SpectraShape 8660은 사용 및 유지 관리가 용이하도록 설계되었습니다. 소프트웨어 인터페이스는 직관적이며 유지 보수 루틴은 간단합니다. 전체적으로이 도구는 다양한 웨이퍼 도량형 (wafer metrology) 요구 사항에 대해 비용 효율적이고, 안정적이며, 정확한 솔루션을 제공 할 수 있습니다.