판매용 중고 KLA / TENCOR Spectra FX 200 #9375219
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KLA/TENCOR Spectra FX 200은 반도체 제조에 사용되는 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 와 기존의 다른 장치 구조의 다양한 물리적, 광학적 특성에 대한 정보를 측정, 수집하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 KLA 독점 3D 스캔 기술을 사용하여 직경이 최대 200mm인 웨이퍼를 정확하게 스캔합니다. 2 개의 통합 센서 (선형 어레이 검출기 및 이중 반사 검출기) 는 웨이퍼의 표면 및 피쳐에 대한 전체/개선 된 도량형을 허용합니다. KLA Spectra FX 200은 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 뛰어난 반복성과 정확성 (최대 0.5 미크론) 을 가지고 있으며, 높은 수준의 조명과 낮은 수준의 조명에서 웨이퍼 (wafer) 에서 데이터를 캡처할 수 있으며, 여러 스캔 모드를 제공하여 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기를 테스트할 수 있습니다. 이 장치는 비용 (cost) 과 시간 (time efficient) 으로 설계되었으며, 처리 속도를 높이고 진동을 최소화할 수 있도록 설계된 정밀 단계를 활용합니다. TENCOR 사용자 친화적 소프트웨어는 자동 정렬 및 추적, 자동 스캔/측정/보고서 실행, 하드웨어/소프트웨어 통합 등 다양한 기능과 이점을 제공합니다. 이미지 품질 향상을 위해 TENCOR Spectra FX 200은 AFS (Auto-Focus Tool) 라는 혁신적인 포커싱 머신을 갖추고 있으며, 이는 피드백 루프를 사용하여 기기의 포커스를 자동으로 조정하여 결과의 정밀도와 정확도를 높입니다. Spectra FX 200은 데이터 수집 및 분석에 유용한 도구도 제공합니다. 데이터는 실시간으로 수집되어 향후 참조 또는 처리를 위해 자동으로 저장됩니다. 가져오기/내보내기 기능도 사용할 수 있습니다. 자산은 카메라, 레이저, 현미경과 같은 수많은 주변 기기와 통합 될 수 있습니다. 전반적으로 KLA/TENCOR Spectra FX 200은 반도체 제조에 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 독보적인 스캐닝 장비와 AFS (AFS), 데이터 분석 도구 (data analysis tools) 같은 기능을 통해 고급 반도체 장치의 개발과 정제를 지원할 수 있는 강력한 도구입니다.
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