판매용 중고 KLA / TENCOR Spectra FX 200 #9205856

KLA/TENCOR Spectra FX 200은 양극화, 스펙트럼 내용 및 와퍼 재료의 광학 품질을 측정하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 와퍼의 품질 관리 (Quality Control) 및 처리량이 높은 스크리닝 (throughput screening) 에서부터 곡면 코팅의 광학적 특성 (optical characteric of coating) 을 결정하는 다양한 응용 프로그램을 제공합니다. 이 장치는 모듈식 (modular) 설계를 통해 고유한 요구 사항에 따라 사용자 정의할 수 있습니다. 이 기계는 초당 최대 50 개의 테스트를 수행할 수 있으며, 데이터를 기록하고 분석하기 위한 소프트웨어 (software) 를 갖추고 있습니다. 고급 이미징 (Advanced Imaging) 및 광 컴포넌트 (Optical Component) 를 사용하면 한 이미지에서 전체 웨이퍼 서피스를 캡처하여 전체 스펙트럼 정보를 얻을 수 있습니다. KLA Spectra FX 200은 다양한 구성 옵션으로 제공되며, 다양한 성능 사양을 충족하도록 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 8 인치 각도 벽 어댑터, 분광기 모듈, 2 개의 다른 편광판, XYZ 포지셔너, 소프트웨어 모듈 및 전체 XYZ 회전 스테이지가 장착 된 정렬 암이 장착되어 있습니다. 조명/광학 브리지 (Illumination/Optics Bridge) 를 사용하면 광원을 사용자 정의할 수 있으므로 이미지의 명도, 대비, 색채 및 색조 조정을 조정하고 조작할 수 있습니다. 또한, 광학 테이블에는 XYZ 스테이지의 부드럽고 정확한 변환을위한 공기 베어링 베이스 (Air Bearing Base) 가 있으며, 터치 스크린 인터페이스는 공구를 완전히 제어하여 정확한 결과를 보장합니다. TENCOR Spectra FX 200에는 고급 보고 및 분석 기능도 포함되어 있습니다. 소프트웨어는 고대비 및 저 패스 필터를 사용하여 결함을 식별 할 수있는 반면, 극화 측정 (Polarization Measurement) 모듈은 복굴절의 정확한 측정을 제공합니다. 다크 필드 이미징 (Dark Field Imaging) 모듈은 최대 1m 떨어진 곳에서 웨이퍼 표면을 원격으로 이미징할 수 있으며, 내장 스펙트럼 분석 및 보고서 생성 (Report Generation) 을 통해 광학 품질 및 결함을 평가할 수 있습니다. 이러한 인상적인 기능과 유연성을 갖춘 스펙트럼 FX 200 (Spectra FX 200) 은 정확한 웨이퍼 테스트와 품질 제어가 필요한 사람들에게 필수적인 도구입니다.