판매용 중고 KLA / TENCOR Spectra FX 200 #293712932
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ID: 293712932
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Thickness measurement system, 8"
Upgraded from F5X
Single open handler
BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-212B-S293 Controller
Signal tower
XENON Arch Lamp source
Options:
SE
DBS
GEM / SECS and HSMS
Operating system: Windows XP
Power supply: 220 V, Single phase, 3 Wire, 15 A, 50/60 Hz
2000 vintage.
KLA/TENCOR Spectra FX 200은 최첨단 반도체 장치의 생산성 및 신뢰성을 향상시키기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 제품은 여러 가지 고급 기술을 결합하여 광학 도량형 (optical metrology), 결함 이미징 (defect imaging) 및 인라인 전기 테스트 (inline electrical testing) 를 포함한 반도체 제조를위한 포괄적 인 솔루션을 제공합니다. KLA Spectra FX 200 은 유연하고 확장 가능한 플랫폼으로, 광범위한 디바이스에 대해 효율적이고 정확한 테스트를 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 빔 인터셉트 (beam interception) 와 고급 알고리즘 (advanced algorithm) 의 독특한 조합을 사용하여 횡단면 영역과 생산 속도의 인터페이스 결함을 정확하게 매핑합니다. 또한 최대 4 인치 직경의 웨이퍼를 테스트 할 수있는 통합 인라인 전기 테스트 기능을 포함합니다. 따라서 이 장치는 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 작업에 이상적이며 빠른 속도와 정확도를 제공합니다. TENCOR Spectra FX 200은 광학 도량형 기능 외에도 강력한 결함 검사 기계를 제공합니다. 내장 스마트 결함 이미징 모듈은 여러 정밀 카메라와 경량 엔진 (Light Engine) 을 사용하여 고도의 정확도로 최대 8 미크론 깊이로 결함을 검사하고 분석합니다. 이를 통해 잠재적 수율 제한 결함을 신속하게 감지 할 수 있습니다. Spectra FX 200에는 고급 결함 인식 기능도 있습니다. 이 도구의 알고리즘은 허위 (false positive) 를 최소화하고 최적의 수율을 보장하는 방식으로 결함을 식별하고 분류하도록 설계되었습니다. 이를 통해 문제가 해결되는 결함만 파악할 수 있습니다. 즉, 사용자가 이를 해결하기 위해 적절한 조치를 취할 수 있습니다. KLA/TENCOR Spectra FX 200의 성능은 통합 사용자 인터페이스가 지원합니다. 이 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하면 테스트 프로세스의 모든 시점에서 테스트 결과를 신속하게 검색, 확인, 분석할 수 있습니다. 따라서 정보를 쉽게 액세스할 수 있으므로 정확성과 효율성이 향상됩니다. KLA Spectra FX 200은 강력하고 다용도 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 고급 기술 (Advanced Technologies) 과 종합적인 기능 세트의 고유한 조합을 제공하여 고수율 반도체 장치 생산을 위한 효율적이고, 안정적이며, 정확한 솔루션을 제공합니다.
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