판매용 중고 KLA / TENCOR Spectra FX 100 #9257025
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판매
ID: 9257025
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Thickness measurement system, 12"
EFEM
UI
(2) SEMES Tool buffers
Operating system: Windows XP
(2) BROOKS ISO Load ports
PRI Transfer robot arm
SMIF / FOUP
Missing parts:
Fine focus board
Tilt board
MCB Board
Stage chuck
Monitor
Focus flipper
UV Filter
PC
CPU Board
Frame board
Hard Disk Drive (HDD)
Power: 208 V, Single phase
2004 vintage.
KLA/TENCOR Spectra FX 100은 반도체 업계의 최고 성능 및 신뢰성을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 도량형 (Advanced Metrology) 기능을 통해 다양한 웨이퍼 기능을 가장 정확하고 정확하게 측정할 수 있습니다. 공정 최적화 (Process Optimization) 및 로트 수용 (Lot Acceptance) 에 사용되므로 제조 프로세스 전반에 걸쳐 최고 수준의 품질과 성능이 충족됩니다. KLA Spectra FX 100에는 프로세스 특성, 결함 검사, 필름 두께 측정, 오버레이 측정, 결함 검토 등 다양한 테스트 및 측정 기능이 있습니다. 나노미터 해상도 (Nanometer Resolution) 로 기능을 테스트하고 측정 할 수 있으므로 동급 최고 수준의 시스템 (Advanced System) 이 됩니다. 또한 사용자 정의 측정 작업 (custom measurement operations) 과 솔루션 (solutions) 을 생성할 수 있도록 설계되어 거의 모든 프로세스에 적응할 수 있습니다. TENCOR SPECTRA FX100 (TENCOR SPECTRA FX100) 은 고도로 교정된 고급 플라잉 감지 장치 (Advanced Flying Detection Unit) 와 고정밀 레이저 비전 머신 등 고성능 프로세스에 이상적인 여러 가지 고급 기능으로 설계되었습니다. 고급 비행 탐지 도구 (Advanced Flying Detection Tool) 는 가장 작은 웨이퍼 기능조차도 정확하고 빠르게 감지하고 정확하게 측정하도록 설계되었습니다. 레이저 비전 (Laser vision) 자산은 3 ~ 6 도의 자유도로 웨이퍼를 검사하도록 설계되었으며, 가장 어려운 기하학조차도 정확하게 측정 할 수 있습니다. 클라 스펙트라 FX100 (KLA SPECTRA FX100) 은 강력한 하드웨어/소프트웨어와 엄격한 교정 프로세스를 통해 안정성과 정확성을 위해 구축되었으며, 모든 측정이 사양 내에 있는지 확인합니다. 또한 강력한 데이터 분석 온보드 컴퓨터 (Onboard Computer) 를 통해 사용자는 신속하게 프로세스를 분석, 비교, 조정할 수 있습니다. 또한 닫힌 루프 도량형 모델은 반복 가능한 정확성과 품질을 보장합니다. 이 장비는 또한 사용자 친화적이며 설치, 운영 및 유지 관리가 간단합니다. 요약하면, KLA/TENCOR SPECTRA FX100은 최고 정확도와 정확도를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 나노 미터 해상도 (Nanometer Resolution) 로 기능을 테스트 및 측정 할 수 있으며, 고도로 교정 된 고급 비행 탐지 장치 (Advanced Flying Detection Unit) 및 고정밀 레이저 비전 머신 (High-Precision Laser Vision Machine) 과 같은 고급 기능이 장착되어 있습니다. 이 도구는 또한 강력한 하드웨어 및 소프트웨어, 엄격한 교정 프로세스, 강력한 데이터 분석을위한 온보드 컴퓨터 (Onboard Computer for Data Analysis) 를 통해 안정성과 정확성을 위해 제작되었습니다. 또한, 이 자산은 사용자 친화적이며, 설치가 쉽고, 운영 및 유지 보수가 가능하므로 고성능 프로세스에 이상적인 툴입니다.
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