판매용 중고 KLA / TENCOR SFX 100 #9351463
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KLA/TENCOR SFX 100 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 테스트, 검사 및 도량형 프로세스를 가능하게하도록 특별히 설계된 차세대 플랫폼입니다. 이 시스템은 적응 형 광학, 5 축 동작 제어, 자동 패턴 인식 알고리즘 및 고속 센서 요소를 사용하여 집적 회로 및 옵토 전자 부품을 정확하게 측정 할 수 있습니다. KLA SFX 100은 Si/SiO2 레이어, 선/공간, 격리 모양 및 특징 크기를 포함한 다양한 유형의 전기 및 광학 신호를 측정 할 수 있습니다. 이 장치는 수차를 감지하고 수정하고, 반복 가능성과 정확도가 뛰어난 표면 변형을 표시할 수 있습니다. TENCOR SFX 100의 적응 광학 및 동작 제어는 이미징 암의 이미징 평면 렌즈, 조리개, 동작 평면을 동적으로 조정하여 신호 터치 및 강도 수준을 최적화합니다. 5축 동작 제어는 컴포넌트 테스트 및 도량형 동안 진동을 최소화하고, 넓은 영역 컴포넌트를 스캔할 수 있도록 합니다. SFX 100에는 컴포넌트 식별, 자동 신호 및 신호 처리 및 결함 감지를 위한 피쳐 인식 (feature recognition) 알고리즘을위한 자동 패턴 인식 알고리즘이 포함되어 있습니다. 이 기계는 내장 신호 평가 기술과 통합되어 데이터를 빠르고, 정확하고, 효율적으로 출력합니다. 제조 분석 및 검증을 위한 상세한 컴포넌트 및 공구 모델을 생성할 수도 있습니다. KLA/TENCOR SFX 100은 직관적인 사용자 인터페이스와 간단한 설정, 작업 및 보고를 위한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있습니다. 또한 SCI (Standard Calibration Interface) 와 통합되어 효율적인 데이터 교환, 다른 시스템과의 통합 및 배치 처리를 지원합니다. 요약하면, KLA SFX 100은 높은 정확도 테스트, 검사 및 도량형 프로세스를 가능하게하도록 특별히 설계된 정교한 자산입니다. 적응 형 광학, 5 축 동작 제어, 자동 패턴 인식 알고리즘 및 고속 센서 요소의 조합으로 통합 구성 요소 및 옵토 전자 구성 요소의 정밀 측정이 가능합니다. 직관적인 사용자 인터페이스, 자동 신호 (Automated Signal) 및 기능 인식 알고리즘, 내장 신호 평가 기술로 구성 요소 테스트 및 도량형 프로세스를 간소화합니다.
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