판매용 중고 KLA / TENCOR SFX 100 #9249578

KLA/TENCOR SFX 100은 기판 및 박막에 대한 자동 테스트 및 분석을 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 시스템에는 이미징 및 필름 도량형을위한 광학 모듈 (optics module for imaging and film metrology) 과 고해상도 전기 테스트를위한 전자 모듈 (electronics module) 의 두 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 광 분석을 위해 KLA SFX 100은 주파수 튜닝 된 '와이드 필드' 현미경을 가지고 있습니다. 이를 통해 대형 웨이퍼 표면의 비접촉, 비파괴적 이미징이 가능합니다. 지형, 미세 구조 등 다양한 매개변수를 볼 수 있습니다. 특정 액세서리를 추가하면 필름 두께 및 입자 크기를 측정 할 수 있습니다. 전자 제품 모듈은 4 개의 개별 기기로 구성됩니다. 여기에는 고주파 신호를 측정하기위한 레이저 간섭계 (laser interferometer) 와 전압 프로브 (voltage probe) 와 주어진 영역을 가로 지르는 기질의 측면 전기 특성을 측정하기위한 스캐너 단계 (scanner stage) 및 압력 스캐너 (pressure scanner) 가 포함됩니다. 이 "모듈 '은" 기판' 의 저항력 과 장치 의 정전기 와 전류 의 흐름 을 측정 하는 데 사용 될 수 있다. TENCOR SFX 100은 장치, 기판 및 필름에 대한 빠르고 자동화된 분석을 제공합니다. 프로브 (Probe) 와 액세서리 (Accessory) 의 선택에 의해서만 제한된 광범위한 매개변수를 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. 박막 장치 (Thin Film Device) 의 빠른 테스트에 적합하며 웨이퍼의 전기, 광학 및 구조적 특성에 대한 자세한 통찰력을 제공합니다.