판매용 중고 KLA / TENCOR SFX 100 #293761851

KLA/TENCOR SFX 100은 실리콘 웨이퍼 제조 프로세스에 대한 매우 정확한 결과를 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 광범위한 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 매개변수를 빠르고 정확하게 분석하여 빠르고 효율적인 품질 관리 (quality control management) 를 가능하도록 설계되었습니다. KLA SFX 100의 주요 구성 요소는 achromatic auto/manual alignment system, auto/manual alignment processor 및 auto-aligner microscope입니다. 무채화 장치 (achromatic unit) 는 서로 마주보는 두 개의 CCD 카메라를 사용하여 기기의 시야에서 웨이퍼를 정확하게 정렬합니다. 이 기계에는 자동 정렬 모듈 (auto-aligner module) 이 장착되어 있는데, 이 모듈은 알고리즘을 사용하여 1 초 이내에 정밀한 정렬을 위해 웨이퍼 패턴 포인트를 찾아, 식별하고, 추적합니다. TENCOR SFX 100에는 자동 웨이퍼 측정이 가능하며 수동 및 자동 도량형 기능을 모두 제공하는 강력한 광학 도구가 있습니다. 에셋은 다이빙/에칭 (dicing/etching), 피크 서피스 거칠기 (peak surface roughness) 및 선 너비 (line width) 를 포함한 다양한 매개변수를 측정할 수 있으며, 최대 0.5 나노미터의 정확도와 포토리스/에칭 재료 및 기타 피쳐의 레이어를 측정할 수 있습니다. 또한 SFX 100은 웨이퍼 바이 웨이퍼 (wafer-by-wafer) 최적화를 통해 배치 처리가 가능한 한 효율적인지 확인할 수 있습니다. 이렇게 하면 닫힌 루프 피드백 (closed-loop feedback) 모델을 통합하여 사용자가 wafer 매개변수를 측정한 후에 즉시 조정할 수 있습니다. 이를 통해 실험을 실행할 때 장비 보정 (calibrating) 및 최적화 (optimizing) 와 같은 기존 오버헤드 작업에 소요되는 시간을 줄일 수 있습니다. 또한 KLA/TENCOR SFX 100은 고정밀 레이저 간섭계를 사용하여 웨이퍼 형상을 검사 할 수 있습니다. 선 너비, 피쳐 높이, 코너 반지름, 비선형 분포를 포함한 다양한 임계 형상 및 치수 매개변수를 정확하게 측정할 수 있습니다. 전반적으로 KLA SFX 100은 반도체 제조에 이상적인 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 정밀도와 정확도가 높은 다양한 중요 매개변수 (critical parameters) 를 효율적으로 측정할 수 있습니다. 시스템의 자동/수동 정렬 (automated and manual alignment) 솔루션은 각 웨이퍼가 기기의 시야에 정확하게 배치되어 있는지 확인합니다. 또한 TENCOR SFX 100의 고정밀 레이저 간섭계 (high-precision laser interferometer) 및 닫힌 루프 피드백 (closed-loop feedback) 장치를 사용하면 웨이퍼의 매개변수를 빠르고 효율적으로 사용자정의할 수 있습니다.