판매용 중고 KLA / TENCOR SFS 7600 #9167258

KLA/TENCOR SFS 7600은 반도체 산업에서 사용되는 최첨단 도량형 및 웨이퍼 테스트 장비입니다. 이전 모델인 SFS 6000에 비해 향상된 성능과 기능을 제공합니다. 이 시스템은 작업 최적화, 고속 도량형 장치 (High-Speed Metrology Unit) 와 자동화된 웨이퍼 테스트 및 처리 시스템을 결합하여 가장 까다로운 반도체 시장을 충족하도록 설계된 포괄적인 플랫폼을 제공합니다. 주요 기능으로는 고감도 측정 기능, 고도의 웨이퍼 테스트 처리량, 탁월한 자동화 기능 등이 있습니다. KLA SFS 7600은 큰 반음계 수차 수정 (LAC) 기술을 갖춘 혁신적인 고성능 Optex 옵티컬 머신을 갖추고 있습니다. 여러 광원 (light) 및 측정 (measurement) 설정이 있는 공구의 호환성을 통해 원자 레벨에서 마이크로 스케일까지 광범위한 고급 테스트를 수행할 수 있습니다. 이 자동 웨이퍼 테스트 자산은 단일 웨이퍼, 전자, 이온, 장치 및 광학 특성에 대한 고급 분석, 단일 웨이퍼 상에서 여러 레이어의 포괄적인 특성을 제공합니다. TENCOR SFS7600 모델의 정밀 도량형 성능은 웨이퍼 표면 결함, 항복 관리 및 향상된 수율 최적화에 대한 정확한 실시간 모니터링을 가능하게 합니다. 에지 (edge) 및 크리스탈 (crystal) 특성을 위한 고급 알고리즘을 사용하여 비접촉 (non-contact) 및 스캐닝 (scanning) 모드 측정을 위한 추가 기능을 제공합니다. 장비의 고급 알고리즘은 또한 프로세스 제어를 위해 소스/드레인 (source/drain) 및 기타 중요한 기하학적 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 KLA/TENCOR SFS7600은 로컬 데이터베이스 관리에 보다 유연한 액세스를 제공합니다. 개방적이고, 사용자 친화적인 환경을 제공하여 사용자에게 특정 요구 사항에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있는 권한을 부여합니다 (영문). 자동화된 웨이퍼 테스트 (Wafer Testing) 기능을 제공하여 실험실에서 프로덕션 플로어 (Production Floor) 에 이르기까지 효과적인 웨이퍼 테스트 및 분석을 수행합니다. 이 장치에는 최대 6 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수있는 통합 로봇 로더 (robotic loader) 와 언로더 (unloader) 가 있어 여러 웨이퍼를 사용할 때 효율성이 향상됩니다. 또한 KLA SFS7600 은 사용자 생산성과 정확성을 극대화하기 위해 설계된 다양한 소프트웨어 솔루션을 제공합니다. 주요 기능으로는 고급 실시간 결함 감지, 조사 툴킷, 자동 웨이퍼 두께 매핑, 종합적인 통계 보고 도구 (Statistics Reporting Tool) 등이 있습니다. 따라서 SFS7600 은 반도체 업계의 웨이퍼 테스트 및 도량형에 이상적인 선택이 됩니다.