판매용 중고 KLA / TENCOR SFS 7600 #9159253
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KLA/TENCOR SFS 7600은 아트 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비의 상태입니다. 반도체 웨이퍼의 미세 구조, 전기, 열 특성 테스트, 분석에 사용될 수 있다. 이 시스템은 측정, 분석, 데이터 시각화 모듈 등 여러 모듈로 구성되어 있으며, 이 모듈은 고객 사양에 따라 구성할 수 있습니다. 이 장치에는 운영자 기능에 사용하기 쉬운 GUI (Graphical User Interface) 와 데이터 전송 및 제어를 위한 고효율 자동화 머신 (Automation Machine) 이 포함되어 있습니다. 이 툴은 또한 전문가가 아닌 사용자들이 도량형 테스트 (metrology test) 와 분석 (analysis) 작업을 빠르고 정확하게 수행할 수 있도록 강력한 측정 및 분석 알고리즘 라이브러리를 제공합니다. 이 모든 모듈은 높은 수준의 정확성과 일관성 (Consistency) 을 갖도록 설계되었으며, 반도체 업계의 품질 보증 (Quality Assurance) 전문가에게 이상적인 선택입니다. KLA SFS 7600은 AFM, 광학 현미경 및 FTIR 이미징 시스템과 같은 다중 접촉 및 비 접촉 도량형 기기를 통합합니다. 최대 정확도 0.5 nm (200mm ~ 10cm) 의 광범위한 웨이퍼 크기를 측정 할 수 있습니다. 자산에는 측정 공정의 환경을 모니터링하기 위해 온도, 습도, 기울기 (tilt) 등 다양한 통합 센서가 있습니다. 이러한 기능 외에도 TENCOR SFS7600에는 SmartQC 및 SmartAlign과 같은 다양한 데이터 획득 도구와 소프트웨어 모듈이 있습니다. SmartQC 모듈은 필수 도량형 매개변수의 측정을 자동화하는 반면, SmartAlign 모듈은 테스트 전에 웨이퍼를 정렬하는 프로세스를 단순화합니다. 이 모델에는 데이터 분석 및 시각화를 위한 강력한 옵션도 포함되어 있습니다. 입자 크기, 입자 분포, 서피스 텍스처 등 다양한 메트릭을 사용하여 2D 또는 3D 이미지를 생성할 수 있습니다. 전반적으로, SFS7600은 정확성 및 품질 보장을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 다양한 특성을 측정, 분석하고, 결과를 관리, 분석, 시각화하는 데 사용할 수 있는 다양한 기기와 도구를 제공합니다. 이 시스템은 또한 개별 고객 요구사항에 손쉽게 활용, 적응할 수 있으며, 반도체 (semiconductor) 업계의 전문가들에게 이상적인 선택이 됩니다.
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