판매용 중고 KLA / TENCOR SFS 7600 #293645416

KLA/TENCOR SFS 7600은 고성능 웨이퍼 검사 및 분석을 위해 설계된 차세대 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 실리콘 (silicon), 화합물 반도체 (compound semiconductor), 유기농 (organic), 다양한 테스트 구성을 포함한 다양한 기판을 지원하는 확장 가능하고 모듈식 플랫폼입니다. 시스템은 임계/전체 크기 (CD/OD) 또는 임계 크기 작은 각도/CDSA, 다중 다이/CDMD 및 잘못된 정렬/오버레이를 측정하도록 구성할 수 있습니다. 이 장치에는 고급 옵틱, 고해상도 이미지 분석, 자동 비전 (vision) 기반 테스트 기능이 장착되어 있어 최대 5nm 해상도로 결함을 감지하고 특징으로합니다. 이미징 및 검사 기술 외에도 4 차원 레이저 스캐닝 현미경, 광학 및 스캐닝 전자 현미경, 일반 광학 시스템 등 다양한 도량형 도구를 통합하여 에지 해상도 (edge resolution) 및 기타 중요한 기판을 측정 할 수 있습니다. KLA SFS 7600은 또한 총 웨이퍼 응력/변형 및 전기 측정, OCD (optical critical dimension) 결정, 열 잔류 응력 측정 등 광범위한 웨이퍼 수준 도량형 및 테스트 기능을 지원합니다. 또한 표적 샘플링 (Target Sampling), 자동 패턴 인식 (Automatic Pattern Recognition) 과 같은 고급 스마트 분석 도구 포트폴리오를 제공하며, 효율적이고 정확한 결과를 보장하는 광범위한 자동 테스트 및 데이터 보고 프로세스를 제공합니다. 이 기계는 연구, 자동차, 항공 우주, 가전 등 다양한 산업 응용 분야에 사용하도록 설계되었습니다. 고품질 이미지, 고급 처리 (Advanced Processing), 결함의 식별 및 특성화에 대한 정확한 데이터를 제공하여 제품의 품질, 프로세스 균일성, 수율 제어를 보장합니다. TENCOR SFS7600 은 구성 능력이 뛰어나고 사용이 편리한 TENCOR SFS7600 은 다른 Wafer Testing System 및 Enterprise Solution 과 완벽하게 통합되어 포괄적인 데이터 관리 및 추적 기능을 제공합니다.