판매용 중고 KLA / TENCOR SFS 7200 #9200112

KLA / TENCOR SFS 7200
ID: 9200112
Inspection system.
KLA/TENCOR SFS 7200은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기술을 통합하는 정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 다양한 반도체 웨이퍼 유형에 대한 높은 정확도, 정밀 측정을 제공합니다. 이 설계는 패턴 식별 (pattern identification), 열 이미징 (thermal imaging) 및 고해상도 자동 광학 검사 (automated optical inspection) 및 이미지 분석을 사용하여 웨이퍼 표면의 칩의 광범위한 다이 레벨 데이터를 정확하게 측정합니다. KLA SFS 7200은 고급 반도체 성능 특성을 평가하는 데 필요한 강력한 기능을 제공합니다. 웨이퍼 프로브 (Wafer Probing) 기술은 전류 누출 및 저항과 같은 다양한 전기 특성을 측정 할 수있는 고급 검사 장치 (Advanced Inspection Unit) 에 의해 지원됩니다. 성능 및 도량형 기능에는 컷오프 전압 측정, 자동 사진 탐지, 접촉 탐지 및 다이 편평도 측정이 포함됩니다. TENCOR SFS7200은 평면 패널 디스플레이, Silicon-on-Sapphire, Silicon-on-Carbide, Silicon-on-Insulator, Optical 및 Metalized 웨이퍼를 포함한 여러 웨이퍼 기판을 처리 할 수 있습니다. 고급 이미지 처리 시스템은 검사된 웨이퍼에서 휴면, 단계, 구멍, 구덩이, 범프, 채널 및 기타 기능과 같은 다이 피쳐를 정확하게 찾습니다. KLA/TENCOR SFS7200 (KLA/TENCOR SFS7200) 은 표면에서 다이 (die) 의 재료 유형, 형상 및 전기 특성을 인식하고 자동화된 데이터 분석을 제공하여 테스트 결과에 대한 자세한 보고서를 제공합니다. 이 머신은 또한 엔지니어가 맞춤형 테스트 루틴을 만들고 최첨단 (최첨단) 디바이스의 결과를 분석할 수 있게 해 주며, 신속하게 결함을 파악하고 프로세스를 최적화할 수 있게 해 줍니다. SFS7200은 구리, 알루미늄, 강철, 폴리 실리콘, 다결정, 화합물 및 갈륨 비소 웨이퍼를 포함한 수많은 재료를 검사하는 데 사용될 수 있습니다. 또한 이 도구는 통합 제어 시스템을 통합하여 웨이퍼 서피스를 볼 수 있도록 광축을 정확하게 조정합니다. 이러한 기능을 통해 TENCOR SFS 7200은 고급 프로세스 성능 기준을 확인할 수 있습니다. 전반적으로, KLA SFS7200은 매우 안정적이고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 다양한 감지 기능이 있습니다. 이 제품은 복잡한 반도체 다이 (die) 기능을 측정, 진단, 특성화하는 효과적인 툴로서, 엔지니어가 프로세스를 간소화하고 최고 품질의 부품을 생산할 수 있도록 합니다.
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