판매용 중고 KLA / TENCOR SFS 7200 #72754

KLA / TENCOR SFS 7200
ID: 72754
웨이퍼 크기: 6"-8"
빈티지: 1991
Surface inspection systems, 6"-8" 1991 vintage.
KLA/TENCOR SFS 7200은 반도체 장치에 대한 시장을 선도하는 테스트 및 분석을 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 자동화된 웨이퍼 클리닝 (wafer cleaning), 테스트 (testing) 및 도량형 (metrology) 기능의 탁월한 조합을 제공하여 사용자는 프로세스 제어 및 구성 문제를 더욱 정확하고 일관되게 해결할 수 있습니다. KLA SFS 7200은 전기 및 광학 도량형에 대해 완전히 자동화된 테스트 기능을 제공합니다. 트랜지스터, 커패시터, Schottky 다이오드, 양극 트랜지스터, MOSFET 등 다양한 장치 유형을 빠르고 정확하게 테스트할 수 있습니다. 자동화된 테스트 스크립트를 사용하면 양호한 (good) 장치와 나쁜 (bad) 장치를 빠르고 반복적으로 분리하여 신속한 수익률 분석을 수행할 수 있습니다. TENCOR SFS7200 (TENCOR SFS7200) 은 고급 광학 및 조명 시스템을 통합하여 기존 웨이퍼 검사에서 보이지 않는 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다. 프로세스 흐름 초기에 이러한 낮은 수준의 결함을 감지함으로써, 사용자는 후기 (late-stage) 수정 사항을 크게 줄이고 수익률을 향상시킬 수 있습니다. 또한, 이 장치는 빠르고 안정적인 데이터 수집, 분석, 보고 기능을 통해 프로세스 변동 (process variation) 또는 중요한 프로세스 영역을 파악할 수 있습니다. 이 정보를 사용하여 프로세스 병목 현상을 줄이거나 제거할 수 있으며, 이를 통해 처리 배치 (batch) 수율과 용량이 늘어납니다. 이 기계의 웨이퍼 처리 (wafer handling) 기능은 가장 까다로운 어플리케이션의 안전, 속도, 정확성 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. SFS 7200은 전체 8 인치 직경 플랫폼에서 웨이퍼에 대한 정확한 동작 제어를 제공하여, 정확한 장치 배치 및 정확한 웨이퍼 정렬을 보장합니다. 또한 KLA SFS7200 은 광범위한 소프트웨어와의 통합을 통해 최신 Fabs 및 Manufacturing Lines 를 손쉽게 연결할 수 있습니다. 전체적으로이 도구를 사용하면 테스트 계획을 신속하게 구성하고, 테스트 프로세스에서 데이터를 정확하게 수집하고, 사용자에게 프로세스 최적화를 위한 명확한 결과를 제공할 수 있습니다 (영문). 전반적으로 TENCOR SFS 7200은 자동화된 웨이퍼 테스트 및 도량형을 위한 포괄적이고 강력한 플랫폼을 제공합니다. 업계 최고의 테스트 속도와 정확성을 제공하여 사용자의 테스트/분석 능력을 대폭 향상시킵니다. 사용자는 프로세스 제어 향상, 수율 향상, 출시 시간 단축 등의 혜택을 누릴 수 있습니다.
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