판매용 중고 KLA / TENCOR SFS 6420 #293821383

KLA / TENCOR SFS 6420
ID: 293821383
웨이퍼 크기: 6"
Particle counter system, 6".
KLA/TENCOR SFS 6420은 반도체 업계의 광범위한 애플리케이션을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 효율성 및 신뢰성 향상을 위해 설계된 소규모 설치 공간입니다. 전체 지형 프로세스 (Topographical Process) 를 통해 웨이퍼를 완벽하게 측정하고 테스트할 수 있습니다. KLA SFS 6420은 고급 레이저 스캐닝 (scanning) 기술을 기반으로 제작되었으며, 한 번의 실행으로 전체 프로세스에 걸쳐 엄격한 측정 정확도를 제공 할 수 있습니다. 웨이퍼 표면의 지형을 측정하는 2 차원 빔이 특징입니다. 이 통합 유닛의 데이터는 실시간 분석 및 보고를 위해 정교한 소프트웨어로 전달됩니다. 자동화된 알고리즘은 운영자가 실시간으로 예방 조치를 취할 수 있도록 Out-of-Spec 프로세스를 식별합니다. TENCOR SFS 6420에는 듀얼 레이저 명암으로 전체 웨이퍼를 한 번에 스캔하는 통합 풀 필드 옵티컬 머신 (full-field optical machine) 이 있습니다. 이 도구는 고유한 통합형 XY 타겟팅 플랫폼과 결합하여 측정의 정확성과 반복성을 보장합니다. 5 x 2 mm 단위로 웨이퍼를 스캔하고 최대 0.25 m의 고해상도를 달성 할 수 있습니다. 또한 SFS 6420 은 다양한 failsafe 기능을 통해 자산을 원활하게 실행할 수 있습니다. 고급 온도 안정화 (Advanced temperation stabilization) 는 특허를 획득한 2 단계 필름 높이 매핑 보호 (mechanical and electronic error) 를 통해 모델의 성능을 최적화합니다. 데이터 또는 구성 요소에 대한 무단 액세스를 방지하는 통합 안전 기능 (Integrated Safety Features) 도 있습니다. 결론적으로, KLA/TENCOR SFS 6420은 효율성 및 신뢰성 향상을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 제품은 반도체 업계에 이상적인 선택이며, 이중 레이저 명암비, 단단한 측정 정확도, 다양한 장애 안전 (failsafe) 기능을 갖춘 통합 풀 필드 광학 시스템을 제공합니다.
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