판매용 중고 KLA / TENCOR SFS 6420 #293755921

KLA/TENCOR SFS 6420은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 제조에서 업계 표준으로 간주됩니다. 이 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템은 광학 검사, CMP (chemical mechanical planarization), 에지 검출, 컨투어, 패턴 검출, 라인 너비 측정 및 100 mm 작은 웨이퍼에 대한 초점/디포커스 분석과 같은 여러 테스트를 수행 할 수 있습니다. 200 mm 및 300 mm. KLA SFS 6420은 하드웨어 및 소프트웨어 구성 요소로 구성됩니다. 하드웨어 구성 요소에는 웨이퍼 스테이지 및 검사 헤드, 레이저 간섭계, 레이저 변위 센서, 공기 베어링 스테이지 및 정밀 정렬 시스템이 포함됩니다. 또한 여러 대의 카메라와 광원이 있습니다. 소프트웨어 구성 요소에는 이미지 분석 제품군, 결함 검토 장치 (Defect Review Unit) 및 정렬 엔진 (Alignment Engine) 이 포함됩니다. TENCOR SFS 6420은 다양한 기능과 이점을 가지고 있어 반도체 제조업체에 유리합니다. 기계 의 "카메라 '와 광원" 콤비네이션' 은 소형 "웨이퍼 '에서 위험 한 결함 을 감지 하는 데 도움 이 되며, 정밀 정렬 도구 는" 웨이퍼' 가 완전 히 정렬 되어 결함 검사 에 적합 하도록 한다. SFS 6420은 여러 검사 기술을 통합하여 정확하고 신속한 결함 감지를 지원합니다. 웨이퍼 표면 영상을 레이저 간섭법, 적외선 영상, 각도 종속 반사율, 고급 패턴 인식 알고리즘과 결합하여, 에셋은 다양한 유형의 반도체 표면에서 결함을 감지 할 수 있습니다. KLA/TENCOR SFS 6420은 수동 또는 자동 웨이퍼 검사 및 도량형에서 빠르고 정확한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델은 여러 온도 센서를 사용하여 결과의 정확성을 보장하며, 결함을 1 나노미터 (1 나노미터) 까지 감지 할 수 있습니다. 또한 잘못된 경고를 모니터링하는 고급 소프트웨어 기능도 있습니다. 또한, KLA SFS 6420은 유지 보수가 가능하도록 설계되어 있어, 최대 효율로 작동할 수 있습니다. TENCOR SFS 6420 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 장비 (metrology equipment) 는 반도체 제품 제조에 사용되는 웨이퍼를 검사하고 측정하는 업계 표준입니다. 하드웨어/소프트웨어 구성 요소와 고급 결함 감지 기능, 정밀 정렬 시스템 (Precision Alignment System), 열 센서 (Thermal Sensor) 를 결합하여 적절한 방식으로 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다.