판매용 중고 KLA / TENCOR SFS 6200 #9083816

KLA/TENCOR SFS 6200은 반도체 제조 산업을 위해 설계된 차세대 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 매우 정밀한 분석과 빠른 처리량을 제공하여 효율적이고 안정적인 생산성을 제공합니다. 이 시스템은 데이터 추출 및 웨이퍼 기하학적 특성화와 함께 기판 테스트, 특성화면, 패턴 검사 및 도량형 (metrology) 을 수행 할 수 있습니다. 프로세스 모니터링 및 규제도 가능합니다. 이 장치는 고속, 정확도가 높은 광학 스캔을 보여 8 인치 및 12 인치 웨이퍼 크기 범위에서 최대 16 마이크로 미터의 이동을 허용합니다. 이 기계의 고감도 광학 탐지기 (optical detector) 는 빠르고 정확한 측정값을 제공하여 정확하고 오류 없는 테스트 결과를 제공합니다. 웨이퍼 무결성과 뛰어난 표면 거칠기를 위해 측정 된 결과는 1 마이크로미터 내에서 상관 관계가 있습니다. 이 도구에는 3 개의 카메라, 2 개의 선형 스테이지 및 1 개의 프리 빔이 장착되어 있습니다. 이것은 X 평면과 Y 평면에서 측정 및 검출과 함께 효율적이고 다양한 표면 스캔을 제공합니다. 선형 단계를 통해 두 평면에서 정확한 이동이 가능하므로 범프, 피트, 스크래치, 뒤틀린 서피스, 결함 등 샘플 서피스 피쳐의 높은 정밀도를 측정할 수 있습니다. KLA SFS 6200은 고급 옵틱, 모션, 소프트웨어 및 전자 장치의 조합을 사용하여 뛰어난 성능과 1 시그마보다 뛰어난 정확도를 제공합니다. 또한 표면 데이터 수집에 혁신적인 알고리즘을 사용하며, 각 웨이퍼에서 사용 가능한 정보를 최대화합니다. 전반적으로, TENCOR SFS6200은 강력하고 다양한 테스트 및 도량형 자산으로, 뛰어난 처리 시간과 최고의 정확성을 제공합니다. 표면 분석 및 특성화가 가능하며, 반도체 생산에서 탁월한 성능, 속도, 효율성을 제공합니다.